Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9311681 zu verkaufen

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NIKON NSR 2005 i10C
Verkauft
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i10C
ID: 9311681
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Stepper, 6" NEMA Box electric source ASAHI N1A Chamber Chamber width: 1800 mm Temperature: Chamber / LTC / IATC: 23°C Computer type: PDP11/93 HP 5517B Laser LSA Laser: 10 mW Fixed reticle microscope NIKON ITV Camera Wafer type: 6" Flat type Silicon wafer OF Detection: NIKON Original Type Wafer loader: NIKON Type2 (A1) Reticle library slots: (13) Main slots Wafer carrier table: Left and right Reticle, 6" LSA / FIA Sensor Bar code reader Rack type: Normal right position Set atmospheric pressure: Normal Altitude: Ground level Constant Backup data No Edge exposure No PPD No inline 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C ist ein hochmoderner Wafer-Stepper mit hochpräzisen Lithographielösungen. Mit seinen fortschrittlichen Belichtungstechniken kann NIKON NSR 2005I10C verwendet werden, um Muster und Formen mit hoher Auflösung zu erzeugen. Es ist ein hochentwickeltes Belichtungsgerät zur Herstellung von integrierten Schaltungen, mikromechanischen Komponenten und Mikromaschinen. NSR-2005I10C bietet ein Sichtfeld von 7,2 mm mal 7,2 mm und eine theoretische Mindestvektorgröße von 0,18 µm. Sein Schrittmotor sorgt für eine hohe Geschwindigkeit und eine effiziente Ausrichtung der Projektionsoptik. Das System ist auch mit einer Belichtungssteuereinheit ausgestattet, die eine programmierbare Gesamtbelichtungszeit und Dosisrate für eine optimierte Verarbeitung jedes Gerätes ermöglicht. NIKON NSR-2005I10C bietet fortschrittliche Belichtungsmodi zur Herstellung komplexer Formen wie Multi-Fiber, Moon, Grid und Variable PR Mask Modi. Diese belichten den Wafer in mehreren Mustern gleichzeitig und ermöglichen die Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis auf den Halbleiterbauelementen. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR-2005 I 10 C über einen Mehrzweck-Reticle-Wechsler, der es dem Benutzer ermöglicht, aus einer Reihe verschiedener Reticles auszuwählen, um die Flexibilität zu erhöhen und die Bildgebungsoptionen zu verbessern. Um eine maximale Bildqualität zu gewährleisten, ist NSR 2005I10C mit einer hocheffizienten Optikeinheit ausgestattet, die extrem kleine Aberrationen der Lichtsignale ermöglicht. Zusätzlich ist der Wafer-Stepper mit zwei Objektivlinsen ausgestattet, die zur Erzeugung unterschiedlicher Auflösungen verwendet werden können. NSR-2005 I 10 C ist mit integrierten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die ungewöhnlich hohe Temperaturen oder Feuchtigkeitswerte erkennen und die Maschine automatisch abschalten. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über einen integrierten Partikelzähler, der es dem Benutzer ermöglicht, in der bildgebenden Anlage vorhandene Partikel zu detektieren. NSR 2005 i10C ist die ideale Wahl für hochauflösende, kostengünstige Lithographielösungen. Die fortschrittlichen Belichtungstechniken und das optische Hochleistungsmodell machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung von integrierten Schaltungen, mikromechanischen Komponenten und Mikromaschinen.
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