Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9389865 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Herstellungswerkzeug für Halbleiterbauelemente. Es ist für die kostengünstige Durchführung von hochauflösenden Lithographieverfahren bis zu 0,25 μ m ausgelegt. Diese Ausrüstung bietet erweiterte Ausrüstungsfunktionen, wie hochpräzise Musterbewegung; hohe Stabilität gegen Umweltschwingungen; und Autofokus, der bei der Probenausrichtung hilft. Der Wafer-Stepper kombiniert hochauflösende optische Projektion mit einem breiten Prozessbereich inklusive optischer Näherungskorrektur (OPC). Damit eignet er sich ideal für die anspruchsvollen Anforderungen der feinen VLSI-Fertigung und der Nanomaschinen-Geräteherstellung. Der Wafer-Stepper ist mit zwei Laser-Interferometern, zwei Stufen, einem Dual-Layer-Lithographiekopf und einer beheizten Last ausgebildet. Der Dual-Layer-Lithographiekopf ist in der Lage, 0,15 μ m hochauflösend zu belichten und kann mehrere Belichtungsfelder in einer Belichtung aufnehmen. Durch die beheizte Belastung entfällt die Notwendigkeit einer langfristigen mechanischen Stabilität, wodurch hochwertige Muster in kurzen Belichtungszeiten hergestellt werden können. Der Wafer-Stepper ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine höhere Stabilität zu gewährleisten, wie z. B. eine Lüftungsstufe, eine audioskopische Geräuschpegelüberwachung, eine Temperatur- und Druckregelung und Vibrationsunterdrückungssysteme. Die Lüftungsstufe positioniert die Probe genau, um maximale Genauigkeit und Stabilität zu erreichen. Das audioskopische System überwacht den Geräuschpegel der Maschine, und wenn ein anormaler Schall erkannt wird, alarmiert das Gerät sofort den Bediener. Darüber hinaus bietet die Maschine hervorragende Belichtungs- und Overlay-Fähigkeiten. Die Belichtungsfunktion bietet eine hervorragende Bildqualität mit hoher Auflösung und Kontrast, während die Overlay-Funktion eine präzise Musterausrichtung bietet und eine hohe Prozessgenauigkeit mit minimal tolerierten Komponenten erreicht. Der Wafer Stepper ist eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung von hochpräzisen Mustern in kurzen Belichtungszeiten. Es bietet überlegene Auflösung und Genauigkeit und ist in der Lage, hohe Produktivität in Bezug auf Durchsatz und Ertrag. Das Werkzeug ist sicher und vielseitig und kann an verschiedene Prozesse und Anwendungen angepasst werden.