Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9408135 zu verkaufen
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ID: 9408135
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C ist ein High-End, ultrapräzise Wafer Stepper in der Halbleiterherstellung verwendet. Es ist eine fortschrittliche, hochanpassungsfähige Maschine, die Chips und andere Komponenten mit extrem hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit herstellen kann. NIKON NSR 2005I10C verfügt über eine automatisierte, modifizierte telezentrische optische Ausrüstung mit einer 200mm Wafer-Plattform. Das Optiksystem bietet eine hervorragende Lichtabdeckung und Übersichtlichkeit und kann an verschiedene Wafergrößen angepasst werden. Die Optik ist ebenfalls chromatisch korrigiert und kann Nanometer-Auflösungsbilder erzeugen. Das i10C verfügt auch über eine High-Speed 10 Megapixel (MP) Kamera und hochauflösendes Objektiv, um Bilder schnell und präzise zu erfassen. Die Kamera ist speziell entwickelt, um eine breite Palette von Frequenzen zu erfassen, von der Hochfrequenzbeleuchtung bis zum UV-Licht, für maximalen Kontrast und Klarheit bei der Aufnahme eines Bildes. Der Stepper ist in der Lage, hochwertige Bilder bei bis zu 5000 Belichtungen pro Stunde mit einer hohen Auflösung von bis zu 10mm pro Pixel zu erzeugen. Die Bilder werden mit einer Rate von 9,6 Gigabyte pro Sekunde aufgenommen und in einem 2-Terabyte-Solid-State-Laufwerk gespeichert. Die hohe Geschwindigkeit und die große Speicherkapazität der i10C sorgen dafür, dass keine Daten verloren gehen. NSR-2005I10C verfügt auch über eine leistungsstarke Ausrichteinheit. Es verwendet eine 5-Achsen-Korrekturtechnologie, die sowohl an physikalischen als auch an elektronischen Komponenten sowie an der Optik Anpassungen vornehmen kann, um die Ausrichtung und Genauigkeit zu gewährleisten. Die Ausrichtmaschine ermöglicht eine äußerst präzise Bearbeitung und Mikrofertigung von Chipkomponenten. Das i10C ist für eine einfache Wartung ausgelegt und kann selbstdiagnostisch und vorbeugend gewartet werden. Das Tool kann zur Fernüberwachung an einen Diagnoseserver angeschlossen werden. Die Maschine verfügt außerdem über ein intuitives, benutzerfreundliches Bedienelement, mit dem auch Anfänger es effizient nutzen und das Beste aus dem Stepper herausholen können. NSR 2005 i10C ist ein leistungsstarker, präziser und zuverlässiger Wafer-Stepper, der schnell und präzise außergewöhnlich hochwertige Bilder erzeugen kann. Mit seiner fortschrittlichen Optik, der hochauflösenden Kamera und dem leistungsstarken Ausrichtungsmodell ist es ideal für die Herstellung komplexer, ultrapräziser Komponenten.
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