Gebraucht NIKON NSR 2005 i11C #9309536 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i11C ist eine Wafer-Stepper-Ausrüstung für eine breite Palette von Anwendungen, wie Back-End-Halbleiterverarbeitung, Fine-Pitch-Werkzeugbefestigung und Dünnschichtentwicklung. Es wurde entwickelt, um die strengen Anforderungen der mittel- bis großmaßstäblichen Produktion zu erfüllen und umfasst fortschrittliche Technologien für Präzisionsmuster, stabile Ausrichtung und präzises Overlay. Das hochauflösende Bildgebungssystem NIKON NSR 2005 I 11 C verwendet ein fortschrittliches, patentiertes, homogenisiertes 5 "(127 mm) -Schlitz-Bildgebungsobjektiv von NIKON und einen hochempfindlichen digitalen CCD-Sensor, der eine hohe Bildgebungsgenauigkeit und einen dynamischen Bereich ikbereich bietet. Die Einheit umfasst auch nachgeschaltete Optiken und Strukturen, um eine präzise Steuerung der Abbildungsebene zu ermöglichen. NSR 2005 i11C ist mit einer automatisierten Stufenpositioniermaschine ausgestattet, die zweiachsige Ausrichtungsmessung und interferometrische Optik mit einer vierstufigen Teststruktur für genaue Ausrichtung und Überlagerung verwendet. Die Stufe enthält auch einen hochauflösenden Encoder, der eine präzise Drehregelung für genaue Bewegungen bietet und sowohl kontinuierliche als auch lokale Scanmuster unterstützt. In Bezug auf die Registrierung von Mask-zu-Wafer umfasst NSR 2005 I 11 C sowohl globale als auch lokale Registrierungsmethoden, gepaart mit einer erstklassigen Ausrichtungs- und Overlay-Messung. Das Werkzeug ist auch in der Lage, Unvollkommenheiten in der Substratoberfläche zu erkennen, wie Verzug und Ungleichmäßigkeit, und bietet erstklassige Kompensation und Korrektur. NIKON NSR 2005 i11C verwendet einen Multilayer-TMCS (Total Maskless Control Asset) -Algorithmus, der eine präzise Strukturierung hochkomplexer, mehrstufiger Strukturen ermöglicht. Dieses Modell bietet eine Hochgeschwindigkeits-Mustergenerierung mit einer Flächendeckungsrate von bis zu 10x schneller als herkömmliche Schritt- und Wiederholsysteme. Die Ausrüstung ist auch mit fortschrittlichen Wafer-Überwachungs- und Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, um wiederholbare, reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das RFID-fähige Datenerfassungs- und Rückverfolgbarkeitssystem ermöglicht einen sicheren Datentransfer zwischen Produktionsstandorten und Prozessverfolgung in Tablet-PCs. Die NIKON NIKON NSR 2005 I 11 C ist eine leistungsstarke, vielseitige Wafer-Stepper-Einheit, die eine hochpräzise Strukturierung und eine hervorragende Overlay-Steuerung für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen bietet. Mit fortschrittlicher Optik, mehrschichtigem Algorithmus, automatisierter Bühnenpositioniermaschine und robuster Prozesssteuerung ist NSR 2005 i11C eine zuverlässige Plattform für die Serienproduktion.