Gebraucht NIKON NSR 2005 i12D #293831216 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i12D ist ein Scanwafer-Stepper, der erweiterte hochauflösende Bildgebungsfunktionen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Es verfügt über eine automatisierte Ausrichtungsausrüstung mit bis zu acht integrierten Stufen für die Ausrichtung auf mehreren Belichtungs- und Waferebenen. Das i12D verfügt über hochmoderne Autofokussier- und Auto-Zentriersysteme, und seine große Fokussiertiefe sorgt für eine hervorragende Bildkonsistenz über eine breite Palette von Substraten. NSR 2005 i12D verfügt über eine maximale Auflösung von 12nm, eine Vollfeldbildgröße von 22mm x 27mm, eine maximale Wafergröße von 8 "(200mm), eine maximale Scanfläche von 24mm x 24mm und eine minimale Schrittweite von 5um. Das System ist für den Einsatz mit weicher Röntgenaufnahme, Mid-UV und konventioneller Optik bis zu 10x ausgelegt. Darüber hinaus unterstützt der Stepper eine Reihe von Quartals-, Binär- und Oktalobjektiven, mit denen Benutzer die Bildauflösung optimieren und kleine Funktionen auch bei hohen Vergrößerungen erkennen können. NIKON NSR 2005 i12D verfügt über eine umfassende Steuereinheit. Es umfasst eine externe Schnittstelle und integrierte Software zur Steuerung und Überwachung der Funktionen und Operationen der Maschine. Der Benutzer kann die Wartungsarbeiten des Steppers anpassen, z. B. die Form und Position des Monitor-Wafers, die Belichtung, den Hintergrund und das Nivellieren. Benutzer können sogar den Scanstartbereich anpassen und den Scanzyklus zurücksetzen. Der Stepper verfügt zudem über ein robustes Wafer-Handling für erhöhte Stabilität und Wiederholbarkeit. Der Waferhalter des Werkzeugs wurde entwickelt, um den Wafer mit mehreren piezoelektrischen Elementen zu sichern, und die störungsfreie Doppelschienenanlage sorgt für perfekt flache Waferoberflächen. Es ist auch mit einem Vibrations- Minimierungsmodell konzipiert, das die Stufeneinstellzeit reduziert und eine vibrationsfreie Scan-Umgebung bietet. Insgesamt ist NSR 2005 i12D eine vielseitige Wafer-Stepper-Ausrüstung für hochpräzise Bildgebung und Herstellung. Dank seiner fortschrittlichen Funktionen und robusten Wafer-Handhabungsfunktionen können Anwender hervorragende bildgebende Ergebnisse für verschiedene Produktionsstufen erzielen.