Gebraucht NIKON NSR 2005 i6 #293652747 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i6
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i6
ID: 293652747
Wafergröße: 3"-5"
Steppers, 3"-5".
NIKON NSR 2005 i6 ist ein Wafer-Stepper, der für die Hochvolumen- und Hochmischproduktion entwickelt wurde. Es bietet eine außergewöhnliche Durchsatzleistung und bietet 4- bis 6-Zoll-Substratgrößen bei Geschwindigkeiten bis zu 2,5-mal schneller als vergleichbare NIKON-Systeme. Das Gerät verfügt über ein „intelligentes Belichtungs“ -Computersteuerungssystem, das Beleuchtung und Belichtungszeit automatisch anpasst, um optimale Ergebnisse für jede Art von Resist zu erzielen. NSR 2005 i6 ist mit einem Hochleistungs-Doppelbelichtungskopf erhältlich, der komplexe Wafer-Muster schnell verarbeiten kann. Der Belichtungskopf verwendet eine Kombination aus Halogen- und Quecksilberlampen, um die ultraviolette Exposition zu minimieren und Resistmusterschwankungen aufgrund von Belichtungszeit und Intensität zu minimieren. Der Belichtungskopf verwendet ein hochauflösendes Viertelmikron-Retikel und eine präzise Hochvergrößerungsprojektionsoptik, um ein hochauflösendes Bild und eine Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Der Belichtungskopf hat eine abstimmbare Lichtintensität und kann sich schnell an verschiedene Größen und Arten von Fotoresists anpassen. Die Optik ist für sehr niedrige Verzerrungen ausgelegt, wodurch Bildverzerrungen beseitigt und die Einheit für fortschrittliche Lithographieanwendungen extrem genau ist. NIKON NSR 2005 i6 ist eine wiederholbare, unübertroffene Präzisionsstufe mit einem der modernsten verfügbaren optischen Systeme. Die Maschine bietet sehr niedrige Ausrichtungsfehler und kann schnell Substrate unterschiedlicher Größe und Widerstände aufnehmen. Das Tool wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, auch in Produktionsumgebungen mit hohem Mischungsgrad. Schließlich ist NSR 2005 i6 mit einem Hochleistungsregler ausgestattet, der jede Art von Algorithmus bedienen kann. Es kann einfach Koordinaten und Belichtungszeiten programmieren und enthält Funktionen wie Autofokus, Kanten- und Mittelbestimmung und allgemeine programmierbare Logik. Dadurch können Operatoren sich auf komplexere Aufgaben konzentrieren und gleichzeitig hohen Durchsatz und Einheitlichkeit bieten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor