Gebraucht NIKON NSR 2005 i6 #9269102 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i6 ist ein Wafer Stepper, der hochauflösende Bildgebung für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Es bietet eine breite Palette von Belichtungsparametern für die flexible Verarbeitung und wurde entwickelt, um einen zuverlässigen Betrieb und hohe Erträge für eine Reihe von Masken und Schaltungsmustern zu bieten. Die Maschine ist eine 5-Achsen-Ausrüstung mit einem einzigartigen Design, das eine Sichtbarkeit von vorne, seitlich und oben der Kammer ermöglicht. Es ist mit einem automatisierten Ausrichtsystem ausgestattet, um eine präzise Ausrichtung von Retikel und Wafer während der Belichtung zu gewährleisten. NSR 2005 i6 verwendet eine Perfect Step Stepping Methode, die eine extrem präzise Platzierung selbst der komplexesten Funktionen ermöglicht. Diese Technologie ermöglicht ~ 0,5 nm Auflösung mit minimalem Registrierungsfehler, und die Belichtungsparameter können weiter optimiert werden, um eine höhere Präzision zu erzielen. Die Infrarot-Ausrichteinheit ist auch in der Lage, eine genaue Overlay-Ausrichtung verschiedener Schaltungsmuster bereitzustellen, und die 3D-Ausrichtung der Maschine kompensiert etwaige Neigungsfehler zwischen Wafer und Reticle - was die Abbildung extrem kleiner Merkmale ermöglicht. NIKON NSR 2005 i6 verfügt über ein selbstregulierendes Full Closed Loop Scanning Tool, um die Auflösung selbst der anspruchsvollsten Photomasken sicherzustellen. Diese Anlage ermöglicht eine effiziente Registrierungsgenauigkeit und minimiert Fehlerauswirkungen während der Produktion. Das Werkzeug ist auch mit einem eingebauten Bildauswertungsmodell ausgestattet, um sicherzustellen, dass bei jeder Belichtung ein Qualitätsbild erzeugt wird. NSR 2005 i6 nutzt integrierte Carrier und Wafer Handler für mehr Durchsatz und Effizienz. Die integrierten lufttragenden Handgriffe bieten präzise Handhabung und optimalen Oberflächenschutz. Das Gerät ist auch mit einer Low Bump Resistance Unit ausgestattet, um die Haftung von Partikeln zu reduzieren und den Druck von Musterkanten zu optimieren. Diese Technologie hilft bei der Steuerung der Innenstempelvariation und erzeugt in Kombination mit der umfassenden Bildauswertung gleichbleibend hohe Erträge. NIKON NSR 2005 i6 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen wie Zuverlässigkeitsüberwachung und unterstützende Teilsysteme, wie Reflow Ofen und Partikelüberwachungssystem, die bei der laufenden Wartung helfen können. Das Tool ist auch mit Ethernet-Konnektivität ausgestattet, die einfachen Zugriff und die Kommunikation mit anderen Knoten im Netzwerk ermöglicht. Dies ermöglicht eine einfache Nachverfolgung des Werkzeugstatus und weitere Unterstützung bei der Prozessoptimierung.