Gebraucht NIKON NSR 2005 i8 #190066 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i8
ID: 190066
Steppers.
NIKON NSR 2005 i8 ist eine hochmoderne Wafer-Stepper-Ausrüstung, die hochpräzise Optik mit Automatisierung zur präzisen Strukturierung einer breiten Palette von Substraten integriert. NSR 2005 i8 beinhaltet fortschrittliche Funktionen für Produktionsumgebungen, darunter schnelles Reticles, On-the-Fly-Scannen, hohe Ausrichtungsgenauigkeit, hohe Produktivität und niedrige Betriebskosten. Der Stepper ist auch für den Einsatz mit fortschrittlichen Mess- und Inspektionsgeräten für messtechnische Anwendungen optimiert. NIKON NSR 2005 i8 ist für einen hohen Durchsatz mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 200 Wafern pro Stunde auf Basis der NIKON patentierten Pulse Drive Technologie konzipiert. Die Pulse Drive-Technologie reduziert chromatische Aberration und ermöglicht schnellere Scangeschwindigkeiten mit Höchstwerten von bis zu 25nm. NSR 2005 i8 enthält eine asphärische Linse mit reduziertem chromatischen Koeffizienten, die hilft, die Gleichmäßigkeit der Lithographie zu verbessern und die Rüstzeit zu reduzieren. Das System ist auch vollständig skalierbar, so dass es in einer Vielzahl von Produktionseinstellungen verwendet werden kann. NIKON NSR 2005 i8 ist in der Lage, hochkomplexe Muster einschließlich Linienbreiten bis zu 0,3 Mikrometer zu handhaben. Das Gerät verfügt außerdem über eine einzigartige Staging-Maschine, mit der mehrere Belichtungsbereiche in einer Sequenz chargenweise geladen und bearbeitet werden können. NSR 2005 i8 nutzt eine vollautomatisierte Wafer-Handling-Technologie, die maximale Werkzeugleistung und Genauigkeit gewährleistet. NIKON NSR 2005 i8 ist mit einer Vielzahl von Mess- und Fehlererkennungswerkzeugen integriert, die es für Serienanwendungen gut geeignet machen. Das Asset verfügt über erweiterte Berichts- und Protokollierungsfunktionen, mit denen Benutzer Belichtungsfehler verfolgen und Trends identifizieren können. NSR 2005 i8 ist auch mit einem Substratausrichtungsmonitor integriert, der hilft, Substratneigungsfehlstellungen zu reduzieren und den Durchsatz zu verbessern. NIKON NSR 2005 i8 ist robust und zuverlässig konzipiert, mit Funktionen wie Übertemperaturschutz, einer kontaminationsfreien Umgebung und einem integrierten Sicherheitsmodell. NSR 2005 i8 ist eine vielseitige Ausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Anwendungen zu bewältigen, von der Halbleiterproduktion bis zur Herstellung von Leiterplatten. NIKON NSR 2005 i8 ist auch voll kompatibel mit einer Vielzahl von Zubehör und Softwarekomponenten und bietet eine vollständig integrierte und zuverlässige Lithographielösung.
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