Gebraucht NIKON NSR 2005 i8 #9016036 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i8
ID: 9016036
Wafergröße: 2"-6"
Wafer steppers, 2"-6".
NIKON NSR 2005 i8 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für Niederserienfertigung und Wafer-Stoßapplikationen. Es ist mit einer hochauflösenden 12-Zoll-Waferstufe und einem starren Rahmen für genaue und wiederholbare Waferausrichtung und Platzierung von Stößen ausgestattet. Der i8 verfügt über eine 8-Zoll-Schrittsäule und eine zweistufige Drehfähigkeit, die eine weiträumige Ausrichtung und eine maximale Projektionsvergrößerung von bis zu 750x ermöglicht. Der Stepper ist mit einem fortschrittlichen Beleuchtungssystem ausgestattet, das eine präzise Kontrolle der Waferbeobachtung und Beleuchtung für eine optimale Strukturierungsstabilität bietet. Die fortschrittliche Auflösung von 0,75 Mikrometern, bis auf 0,3 Mikrometer, bietet hervorragenden Kontrast und Definition für einheitliche, scharfe und gut definierte Muster mit minimalen Linienbreiten. Es ist auch in der Lage, kontrastarme Phasenschieber für den Einsatz in messtechnischen und Inspektionsanwendungen zu detektieren. Der i8 ist außerdem mit mehreren Belichtungsmodi ausgestattet, um die Verarbeitungszeit zu minimieren und die Vielseitigkeit der Lithographie zu verbessern. Die Pro-Flux-Technologie passt Stepper-Parameter dynamisch an, basierend auf Mustergröße, Belichtungsbedingungen, Wafer-Beladungsstatus und zusätzlichen Notationen. Dadurch kann der Bediener Parameter beim Übergang von größeren zu kleineren Formelementgrößen schnell anpassen. Das fortschrittliche Wafer-Ladesystem sorgt für ein verbessertes Wafer-Handling. Das System verwendet ein einzigartiges Loader-Interface-Design, das es dem Bediener ermöglicht, Wafer schnell von oberen nach unteren Stufen zu bewegen, um den Prozess zu beschleunigen. Es hat auch integrierte Wafer-Flex-Film-Handhabungsfunktionen. Der NSR 2005 i8 ist ein kostengünstiger, leistungsstarker Wafer-Stepper, der den Anforderungen der Niederserienproduktion und der Wafer-Stoßverfahren gerecht wird. Es wurde entwickelt, um die höchste Auflösung und Genauigkeit für eine Reihe von Wafer-Stepper-Anwendungen zu bieten und ist ideal für die Herstellung von häuslichen Halbleitern.
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