Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #293689926 zu verkaufen
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ID: 293689926
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Stepper, 6"
Wafer stage: Ball screw style
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: KEYENCE and OMRON sensors for clear wafers
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer type: Flat
Illuminator type: 1500 W
Reticle libraries
Reticle load / Unload arms: Open / Close (20 mm)
Ceramic ring chuck with pre-alignment
Focus calibrate
TTL Reticle alignment
Resolution: 0.5 micron
Computer type: PDP11
Reticle size: 5"
Barcode reader
Autofocus: Single point
Movable microscopes: 15/17.5/20 mm
LLTC: Standard air
LIA
FIA
LSA
Chip levelling
ISS
SEC2
No PPD
1991 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A ist ein hochgenauer und zuverlässiger Vollfeld-Wafer-Stepper. Dieses Gerät bietet eine fortschrittliche Plattform, die eine hohe Durchsatzproduktion von Präzisionssubstraten mit hervorragenden Mustererkennungsergebnissen und geringer Gesamtdurchsatzzeit erreicht. Die Auflösung von NIKON NSR 2005I8A ist um ein hochentwickeltes, 0,4 μ m auflösendes, scanbasiertes Beleuchtungssystem mit einem 32-stufigen vertikalen Sichtfeld zentriert. Der Stepper verfügt außerdem über eine multidirektionale Mustererkennungseinheit, die es ermöglicht, Substrate jeder Form schnell zu erkennen und zu platzieren. NSR-2005I8A verfügt über eine volle 5-Achsen-Fähigkeit, einschließlich 3 Drehachsen, zwei X-Y-Translationsachsen und einer Z-Achse. Dieser Aufbau ermöglicht die genaueste Positionierung und Ausrichtung von Schrittkomponenten und Substraten. Darüber hinaus nutzt NIKON NSR-2005I8A eine hochpräzise optische Plattform, eine Direktantriebsmotormaschine und einen FEM-basierten Ausrichtungsalgorithmus mit hohem Durchsatz. Dieses fortschrittliche Tool ermöglicht überlegene Mustererkennungsergebnisse und eine schnelle Durchlaufzeit, wodurch komplexe Substrate effizient verarbeitet werden können. Darüber hinaus ist NIKON NSR-2005 I8A auch mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die eine bessere Benutzerkontrolle bieten. Diese Funktionen umfassen ein Multi-Tool-Funktion, die Bediener die Möglichkeit gibt, schnell zwischen verschiedenen Optik on the fly umschalten. Darüber hinaus enthält NIKON NSR 2005 I 8 A eine einzigartige geometrische Funktion namens Defocus Offset Asset, die zur Verringerung von optischen Bildgebungsproblemen durch Defokusfehler dient. Schließlich verfügt NSR 2005I8A auch über ein umfassendes Modell von Integrationswerkzeugen. Diese Ausrüstung macht es einfach, den Stepper mit einer Vielzahl anderer Komponenten und Programme zu verbinden. Diese Integrationstools bieten ein einziges Fenster für den Stepper, so dass Bediener eine breite Palette von Software- und Hardware-Engineering-Anwendungen verwenden können. Abschließend ist NSR-2005 I8A ein hochentwickelter und funktionaler Wafer-Stepper. Das System ist mit einer 0,4 μ m auflösenden Scan-basierten Beleuchtungseinheit, einem drehbaren 5-Achsen-Design, anspruchsvollen integrierten Optik- und Motorsystemen und einer robusten Reihe von Integrationswerkzeugen ausgestattet. Zusammen ermöglichen diese Funktionen eine schnelle Durchlaufzeit und die genaue Platzierung beliebiger Formsubstrate mit höchster Präzision und Genauigkeit.
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