Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #9250072 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper ist ein Schlüsselgerät für fortschrittliche lithographische Prozesse in der Halbleiterherstellung. Es ist eine hochgenaue Maschine, die extrem kleine Merkmale auf dünnen Substraten herstellen kann. NIKON NSR 2005I8A besteht aus einem Großrechner, Ausrichtstufen, einer Projektionsoptik und einer Belichtungsquelle. Das Großrechner besteht aus einer vakuumdichten Kammer, Zu- und Abstellarmen und motorisierten Positionierstufen. Die vakuumdichte Kammer schützt die Stufe vor Luftkontamination, die die Genauigkeit und Geräteausbeute des Belichtungsprozesses beeinflussen kann. Innerhalb der Kammer befindet sich die Belichtungsquelle, die aus einer von zwei Beleuchtungsquellen, Ozon oder tiefem Ultraviolett besteht. Die Auswahl der Expositionsquelle hängt von der Art der verwendeten Expositionsmaske ab. Beispielsweise wird tiefes Ultraviolett verwendet, wenn Belichtungsmasken aus Quarz verwendet werden. Das Projektionsoptiksystem von NSR-2005I8A besteht aus einer Reihe von Linsen und Spiegeln, die die notwendigen Vergrößerungs- und Fokussierungsparameter für die gewünschte Geräteschicht bereitstellen. Die Optik ist optimiert, um die höchsten Auflösungsniveaus und Leistungsgrößen zu erzielen. Die Aligner Stages von NSR-2005 I8A Präzisionsgeber und Servomotoren verwenden, um die Stufen in X-, Y- und θ-Ebene zu lenken. Diese Stufenkorrekturen sind wesentlich, um die Platzierungsgenauigkeit und kritische Merkmale in der Ausrichtung zu halten. NSR 2005I8A wurde entwickelt, um die Geräteausbeuten und Gerätetoleranz durch die Bereitstellung der höchsten Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu verbessern. Zu den Funktionen gehören hochauflösende Bildgebung, effizienter Durchsatz und eine fortschrittliche Prozesssteuereinheit zur Aufrechterhaltung einer stabilen Umgebung für sensible Belichtungsprozesse. Mit seiner automatisierten Vision-Ausrichtmaschine kann der Stepper Fehlstellungen erkennen und korrigieren sowie die Gleichmäßigkeit des Substrats überwachen, um sicherzustellen, dass jedes Mal Teile höchster Qualität produziert werden. Insgesamt ist NSR 2005 I 8 A Wafer Stepper ein unschätzbares Stück fortschrittliche Lithographie Ausrüstung bietet hohe Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Halbleiterindustrie. Dieses fortschrittliche Werkzeug ist in der Lage, die anspruchsvollsten Muster auf extrem dünnen, empfindlichen Substraten zu erstellen, die sonst mit traditionellen Methoden nicht zu produzieren wären.