Gebraucht NIKON NSR 2005 i8A #9351643 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i8A
ID: 9351643
Wafer stepper.
NIKON NSR 2005 i8A ist ein hochpräziser Wafer-Stepper für fortschrittliche lithographische Prozesse. Diese Maschine ermöglicht die Entwicklung von hochdichten integrierten Schaltungen und anderen fortschrittlichen Elektronikanwendungen. Es verfügt über eine fortschrittliche Bildmessausrüstung für die Waferinspektion, genaue Platzierung und Ausrichtung von Photomasken- und Waferstufen und ein verbessertes Strahlprofil für verbesserte Auflösung und Kontrast. Das optische System besteht aus einer hochpräzisen, hochleistungsfähigen U-förmigen katadioptrischen optischen Einheit. Diese Maschine bietet eine große Tiefenschärfe und eine ausgezeichnete Auflösung und Kontrast in einem breiten Sichtfeld. Der Vergrößerungsbereich beträgt 5x-90x mit einer maximalen numerischen Apertur (NA) von 0,50. Das Sichtfeld beträgt 305mm, mit dem Stanzabstand von ≤ 148 μ m und der Stanzneigung von ≤ 75 μ rad. Die Scanleistung der Maschine wird mit einem zweiachsigen digitalen Servosteuerungswerkzeug weiter optimiert. Die Steuerung verwaltet das Scannen, die Düsenregistrierung und die Düsenausrichtung während des gesamten Schrittbetriebs. Das Asset kann die Platzierung und das Scannen von Elementen mit einer Auflösung von 0,05 μ m/Pixel genau positionieren. Die Maschine ist auch mit einem erweiterten Soft Scan Overlay-Modell ausgestattet. Diese Ausrüstung ermöglicht eine präzise Overlay-Ausrichtung bei komplexen Lithoätzprozessen. Das System kann 1 Schichtmaske auf einer oder mehreren Schichten des Substrats registrieren, um eine einwandfreie Überlagerungsgenauigkeit zu gewährleisten. NIKON NSR 2005I8A ist für 24/7 Dauerbetrieb und garantierte Verfügbarkeit ausgelegt. Das Gerät ist mit einer ultrahochpräzisen Waferstufe ausgestattet, um eine präzise Bewegungs- und Bildstabilität zu gewährleisten. Seine Temperaturregelmaschine hält eine gleichbleibende Temperatur über das Werkzeug und erzeugt eine gleichmäßige Bildqualität mit Ergebnissen, die auf innerhalb von 0,1 μ m wiederholbar sind. Die Maschine verfügt auch über eine integrierte Wafer-Transportmittel, die das Be- und Entladen von Chargen von Wafern erleichtert. Damit ist die Maschine ein effizientes, automatisiertes Modell, das schnelle und präzise Fertigungsprozesse ermöglicht. Dank der engen Integration der Steuergeräte kann der Bediener seine Arbeit im Auge behalten und bei Bedarf Korrekturen vornehmen. Zusammenfassend ist NSR-2005I8A ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der Präzision und Genauigkeit bei gleichbleibender Lithographieleistung liefert. Es wurde entwickelt, um komplexe Fertigungsprozesse aufzunehmen und gleichzeitig genaue und wiederholbare Ergebnisse zu liefern.
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