Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #293601909 zu verkaufen
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ID: 293601909
Stepper
Resolution: ≤0.5 µm
UDOF: ≥0.7 µm
CD Uniformity: ≤50 nm
Focus calibration repeatablity: 3σ, ≤0.1 µm
Lens distortion: Within ±70 nm
Maximum area: 20x20 mm
Recticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥550 mW/cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 3%
Recticle rotation: Within 20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3σ, ≤70 nm
Operation test success rate: 100%
Wafer system success rate: 100%
Focus stability: ≤0.6 µm
Magnification error: Within 15nm
Field curvature: ≤0.3 µm
Chip levelling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper ist ein hochpräzises Gerät, das in einer Reihe von Anwendungen von der Herstellung integrierter Schaltungen über Druck, Bildgebung und Inspektion verwendet wird. Mit 9 Bewegungsachsen bietet das i9C beispiellose Flexibilität bei langfristiger Zuverlässigkeit. Es wurde entwickelt, um thermische Verzerrungen zu minimieren und bietet integrierte Schwingungsisolierung. NIKON NSR2005I9C bietet eine beeindruckende optische Ausstattung mit einer hochauflösenden 0.8NA Kondensatorlinse und Hochleistungsobjektiven mit einer numerischen Apertur von 0,8. Diese leistungsstarke Kombination ermöglicht eine breite Palette von bildgebenden Anwendungen einschließlich Musterung, Overlay und Wafer Stepper Inspektion. Das i9C unterstützt eine Vielzahl von hochwertigen Retikeln und verfügt über feine Polarisations-, Fokus- und Ausrichtungskorrekturen, um eine ultimative Genauigkeit zu gewährleisten. NSR-2005I9C Wafer Stepper zeichnet sich durch überlegene Leistung und robustes Design aus. Es ist mit einem fortschrittlichen Vier-Achsen-System und einer 4-Ebenen-Vergrößerung ausgestattet, die es für hochpräzise Aufgaben geeignet machen. Das Gerät bietet eine hohe Scangeschwindigkeit und eine maximale Belichtungszeit von 1,5 Sekunden. Es bietet auch einen automatischen Retikelaustausch, eine doppelte Bildfeldnaht und einen breiten Scanbereich von bis zu 5,5 Mikrometern. NSR 2005 I 9 C Wafer Stepper ist entworfen, um Produktionseffizienz zu erhöhen und Fehler zu reduzieren. Es verfügt über einen intuitiven Controller und erweiterte Überwachungsfunktionen, die hochwertige Fertigungsergebnisse gewährleisten. Die Maschine ist mit einer Reihe von Prozessgasen kompatibel und unterstützt die Automatisierung von Industrie 4.0. Schließlich ist NSR 2005 i9C pflegeleicht und hat einen geringen Platzbedarf. Es entspricht verschiedenen Sicherheitsanforderungen und unterstützt den Fernbetrieb. All diese Eigenschaften machen das i9C zu einem idealen Gerät für High-End-Lithographieanwendungen.
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