Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9059235 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i9C
ID: 9059235
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
i-line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterbauelementen in der Mikroelektronikindustrie verwendet wird. Die Maschine bietet überlegene Bildgebungsleistung für Standard- und fortgeschrittene Bildgebungsanwendungen. Es bietet eine maximale Auflösung von 0,40 µm über alle Abbildungsmodi, so dass kritische Schaltungsmuster bis zu 0,25 µm gedruckt werden können. Dies macht es perfekt für die fortschrittlichsten Knoten in der Entwicklung und Herstellung von High-End-Halbleitern. Es ist mit mehreren Belichtungsfunktionen ausgestattet, so dass es qualitativ hochwertige Bilder in positiven und negativen Prozessen erzeugen kann. Der Zielbelichtungsbereich für die Maschine beträgt 0,6-5,6 µm, mit einem maximalen Bereich von 0,5-5,5 µm über mehrere Belichtungsdurchgänge. Darüber hinaus ist es mit einem ALGIS (Auto-Level Gain Image Shifting) -System ausgestattet, das die Auswirkungen von Defokus- und Bildgrößenvariationen über verschiedene Belichtungswege hinweg reduziert. Die Maschine wurde entwickelt, um maximale Genauigkeit und Präzision bei CD-Messungen (kritische Abmessungen) im Vergleich zu anderen Wafer-Steppern zu bieten. Sein großes aktives Feld von 300mm x 400mm ermöglicht es ihm, große Muster zu produzieren und bietet einen überlegenen Durchsatz und Kosteneffizienz. Seine Schritt- und Wiederholungsgeschwindigkeit beträgt 6 Sekunden pro Schritt für insgesamt 300 Bilder pro Stunde. Dies macht es ideal für Serienreihen. Der modulare Aufbau ermöglicht einfache und schnelle Wartungs- und Reparaturoptionen. Es erleichtert auch die Integration in neue oder bestehende Kundensysteme. NIKON NSR2005I9C ist weiter mit fortschrittlichen Automatisierungstechnologien ausgestattet, die fab Ausrüstung und Systeme integrieren und manuelle Operationen eliminieren. Es verfügt auch über Autofokus und automatische Ausrichtungsfunktionen, um die Produktionszeit zu beschleunigen und gleichzeitig die Qualität zu erhalten. Die Geräuschreduzierungstechnologie wird NSR-2005I9C verwendet, um die Schwingungen zu reduzieren, die durch bewegte Teile erzeugt werden, was zu einer verbesserten Bildgebungsleistung und -präzision führt. Es kommt auch mit doppelter Beleuchtung ausgestattet, die gepulste Lichtquellen für präzise Belichtung verwendet. NSR2005I9C ist die perfekte Wahl für die fortschrittliche Halbleiterherstellung und erfüllt die Anforderungen der heutigen fortschrittlichsten Knoten. Die fortschrittliche Vorausrichtung und die automatische Kalibrierung gewährleisten eine hohe Prozessgenauigkeit und Präzision und bieten gleichzeitig eine schnellere Installation, Einrichtung und Wartung.
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