Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9096011 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i9C
ID: 9096011
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C ist eine fortschrittliche Wafer Stepper Ausrüstung, die beeindruckende Geschwindigkeit, Genauigkeit und Präzision bietet. Dieses Schrittsystem soll seinen Anwendern helfen, anspruchsvolle photolithographische Bilder auf Halbleitersubstraten zu erzeugen. Zu Beginn verfügt NIKON NSR2005I9C über ein 5-Achsen-Bewegungssteuermodul für ultrapräzise Bewegungen entlang der X-, Y- und Z-Achse sowie für Drehung und eine Neigung der dritten Achse. Diese Bewegungen bieten optimale Genauigkeit und ermöglichen eine schnelle Substratausrichtung. Das Gerät verfügt außerdem über ein Hochgeschwindigkeits-CCD-Bildmessgerät, das Vollbild-EDWS (Edge Detection und Wafer Scan) in hoher Auflösung bereitstellt. Dies ermöglicht eine präzise Kantenerkennung und Waferanalyse, während gleichzeitig das gesamte Substrat auf einmal gescannt wird, um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten. NSR-2005I9C verwendet eine Vielzahl von speziellen Linsen, um eine hochgenaue Positionierung des Belichtungsfeldes zu gewährleisten. Es verwendet auch eine hochauflösende Bewegungssteuerungsmaschine, um ultrapräzise Bewegungen auf der X-, Y- und Z-Achse zu erzielen und eine präzise Positionskontrolle zu ermöglichen. Dieses Schrittwerkzeug ist auch mit einem Chuck Shutter Mechanism (CMS) für eine präzise Verschlusskontrolle ausgestattet, wodurch jede Neigungsvariation, die zu ungenauen Abständen von Lichtquellen führen kann, eliminiert wird. NIKON NSR 2005I9C ist auch in der Lage, fortschrittliche Stabilisierungstechniken wie Active Layer Stabilization (ALS) für ultrapräzise Belichtungsvergrößerungssteuerung und Layer-by-Layer Fixing (LBLF) für präzise Schichtgrenzpositionierung. Diese Ressource verwendet auch AMRC-Technologie, um die Notwendigkeit einer manuellen Ausrichtung zu beseitigen, wodurch der Prozess der Erstellung genauer fotolithographischer Bilder erheblich vereinfacht wird. NSR 2005 i9C verfügt auch über ein Multi-Point Loading-Modell, mit dem mehrere Wafer gleichzeitig geladen werden können, wodurch der Durchsatz erhöht und Wartezeiten reduziert werden. Darüber hinaus bietet es auch Optionen wie automatische Beam Shutter, Niederdruck/Niedertemperatur-Belichtung (LLTE) und Heizstufentür (HSD), die zusätzliche Flexibilität und Leistung. Insgesamt ist NSR2005I9C Wafer-Stepper-Ausrüstung ein beeindruckendes Gerät, das in der Lage ist, extrem genaue, präzise und schnelle fotolithographische Bilder zu liefern. Sein 5-Achsen-Bewegungssteuerungsmodul und sein hochauflösendes Bewegungssteuerungssystem gewährleisten ultragenaue Belichtungsvergrößerungen, Schichtpositionierung und Verschlusskontrolle, während seine AMRC-Technologie, die Multi-Point-Ladeeinheit und zusätzliche Optionen weitere Flexibilität bieten und den Durchsatz verbessern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor