Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9096012 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper ist eine hochpräzise Halbleiterlithographie-Ausrüstung, die zur Herstellung integrierter Schaltungen und mikroskopischer elektronischer Bauelemente verwendet wird. Es wurde von NIKON Semiconductor Solutions entwickelt und hergestellt und bietet einen hohen Durchsatz und extrem kostengünstige Muster mit beispielloser Mustererfassungsgenauigkeit und Positionsgenauigkeit. NIKON NSR2005I9C ist in der Lage, extrem hohe Belichtungsauflösung und bietet einen bemerkenswerten Dynamikbereich von 1/1000nm. Es bietet ein optomechanisches Aliasing-Korrekturprotokoll, das die Musterverzerrung während einer effizienten und robusten Nyquist-Abtastung reduziert. Die Waferstufe ist mit einem fortschrittlichen dynamischen Läpp- und monolithischen, nicht störenden Ausrichtungssystem und einer integrierten Ringsucheinheit ausgestattet, um eine perfekte optische Ausrichtung zu gewährleisten. Das i9C bietet darüber hinaus eine einzigartige „Nano-Tracking“ -Technologie, mit der die Maschine für extreme Vergrößerungsbilder eingesetzt werden kann. NSR-2005I9C verfügt über 2K- und 4K-Objektivbaugruppen 4K- und 6K-weniger Muster, die 10nm auflösungsfähig sind und mit einer 392nm ArF-Deuteriumlampe und einem Krypton-Excimerlaser ausgestattet sind. Dieses Halbleiterlithographiewerkzeug weist eine 0,5-nm-Stufenwiederholbarkeit für Position und Fokus auf. Seine einzigartige Konfiguration ermöglicht verschiedene Maskenniveaus und bietet eine umfassende Palette von mehrschichtigen Prozessen wie Resist, Lift-off und individuelle Schichtresistenzen. Die Optik ist Off-Axis-fähig und die vierstufige binäre Optik- und Direct-Write-Technologie bietet eine Vielzahl von Optimierungstechniken, um unterschiedliche Anforderungen zu erfüllen. NSR 2005I9C verfügt außerdem über eine Reihe automatisierter Computersteuerungsoptionen, mit denen der Benutzer die Zykluszeit reduzieren und den Modelldurchsatz und die Genauigkeit optimieren kann. Darüber hinaus sind die CCD-Kameras an den Geräteprozessor angeschlossen, so dass der Benutzer sofort auf kritische Daten wie Reticles und Feldgrößen zugreifen kann. Das System verfügt außerdem über einen thermischen Diffusor und ein Gasmodul, um Kontaminationen zu reduzieren. Insgesamt ist NSR 2005 I 9 C Wafer Stepper eine hochgenaue und zuverlässige Halbleiterlithographie-Einheit, die geeignet ist, Muster mit beispielloser Auflösung, Genauigkeit und Durchsatz zu erzeugen. Seine einzigartigen Eigenschaften, wie das fortschrittliche dynamische Läppen und monolithische, nicht störende Ausrichtungsmaschine, Off-Axis-Optik und automatisierte Computersteuerungsfunktionen machen es zu einem der besten verfügbaren Wafer Stepper in der Branche.