Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9096013 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C ist ein Waferstepper für hochpräzise Photolithographieanwendungen. Der Wafer-Stepper verwendet fortschrittliche Technologie, um hochauflösende Bilder auf Wafern oder Substraten genau zu erstellen. NIKON NSR2005I9C ist in der Lage, mehrere Funktionen in einem einzigen Schuss auszuführen, einschließlich Belichtung, Ausrichtung und Backen. Mit seiner Hochleistungsbildaufbereitungsfähigkeit und patentierten „Vakuum“-Bildaufbereitungsköpfen kann der i9C Submikronbeschlussmuster auf eine genaue, repeatable Weise genau erzeugen. Die i9C besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Abbildungskopf, der Beleuchtungseinrichtung und dem beweglichen Strahlabgabemechanismus. Der Abbildungskopf enthält eine Anordnung von feinabstimmbaren Linsen, um eine präzise Submikronauflösung über ein weites Sichtfeld zu erzielen. Das Beleuchtungssystem enthält Linsen, dichroitische Filter und andere Optiken, um der Probe eine gleichmäßige, verzerrungsarme Beleuchtung zu bieten. Schließlich verwendet der Strahlabgabemechanismus genaue Motorsteuerungen, um den Abbildungskopf schnell von einem Bereich des Wafers zum nächsten zu bewegen. Das Gerät ist in der Lage, Submikronauflösung über eine Fläche von 500mm mal 10mm bereitzustellen. Die Wafergröße kann leicht geändert werden, um verschiedenen Prozessanforderungen gerecht zu werden, begrenzt nur durch die Größe des Abbildungskopfes. Der Stepper ist für die Arbeit mit verschiedenen Resistmaskenstufen konzipiert und bietet Platz für einen weiten Wellenlängenbereich (193nm bis 248nm). Darüber hinaus ist die i9C in der Lage, dreidimensionale Strukturen mit einem selektiven Abscheidungsmechanismus zu strukturieren. NSR-2005I9C bietet zahlreiche Optionen und Funktionen, die die Komplexität reduzieren und die Leistung steigern. Einzigartig für diesen Wafer-Stepper ist eine interne Bildverarbeitungsmaschine, die die Rüst-/Einstellzeit drastisch reduziert. Das fortschrittliche Bewegungssteuerungswerkzeug sorgt in Kombination mit einem Hochgeschwindigkeits-Bildflächendetektor für eine genaue Registrierung und wiederholbare CD-Ergebnisse. Eine optionale Vakuumklemmvorrichtung automatisiert die Platzierung, Zentrierung und Ausrichtung und ermöglicht eine schnellere Verarbeitung und einen verbesserten Durchsatz. NSR2005I9C ist ein zuverlässiger, hochgenauer Wafer-Stepper. Seine Fähigkeit, Submikron-Auflösungsmuster mit hoher Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz genau zu produzieren, macht es zu einer idealen Lösung für die Waferproduktion. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und mehreren erweiterten Funktionen können komplexe Lithographieaufgaben einfacher, schneller und präziser gestaltet werden.