Gebraucht NIKON NSR 2005 i9C #9239576 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i9C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i9C
ID: 9239576
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper ist eine hochentwickelte und automatisierte Wafer-Bearbeitungsausrüstung, die entwickelt wurde, um die Genauigkeit und Produktionseffizienz bei der Entwicklung von Halbleiterbauelementen zu erhöhen. Es bietet präzise Ausrichtungs- und Drehsteuerungen mit zwei unabhängigen, gesteuerten Bewegungsachsen, die das präzise Ätzen komplizierter Muster auf der Waferoberfläche ermöglichen. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine integrierte Programmierschnittstelle, die eine einfache Einrichtung und Bedienung auch für die komplexesten Gerätedesigns ermöglicht. NIKON NSR2005I9C verfügt über ein hocheffizientes und leistungsstarkes Lithographiesystem. Seine fortschrittliche Optik, bestehend aus drei kugelförmigen Linsen, bietet eine Feinfokuskontrolle und eine gleichmäßige Belichtungsabdeckung. Es erleichtert auch einen Shot-Sharing-Algorithmus, um die Belichtung jedes Fotomusters zu optimieren, was zu einer verbesserten Produktionsausbeute führt. Dieser Stepper bietet auch eine maximale Ausrichtungsauflösung von weniger als 0,3 nm und sorgt für extrem hohe Präzisionsleistung. Die spezielle Verschlusseinheit ermöglicht eine gleichmäßige Belichtung über den gesamten Wafer, was die Komplexität der manuellen Belichtungskompensation reduziert. NSR-2005I9C hat ein robustes Design, das für wiederholbare, hochgenaue Verarbeitungsvorgänge ausgelegt ist. Sein resonanter Scanner und seine kompakte Basis verhindern Mikroschwingungen während des Betriebs und seine eingebaute thermische Kompensation kompensiert eventuell auftretende thermische Drift. Zusätzlich bietet der Stepper einen sicheren Handhabungsmechanismus zum sicheren Be- und Entladen von Wafern von der Waferstufe. Der Hochdurchsatz-Stepper bietet eine Geschwindigkeit von bis zu 30 Wafern pro Stunde und seine Gesamtausstattungseffizienz (Overall Equipment Efficiency, OEE) ist größer als 90%. Es verfügt über eine werkseitige Automatisierungslösung für die Integration mit potenziellen Peripheriegeräten, die eine automatisierte Wartung ermöglicht. Der integrierte Lithographie-Prozessmonitor hilft dabei, Prozessvariationen so früh wie möglich zu erkennen und bietet mit seiner algorithmischen Bibliothek eine effiziente Kalibriermaschine. NSR 2005-I9C ist ein branchenführender Wafer-Stepper, der ein beeindruckendes Maß an Genauigkeit und Produktivität bietet. Das fortschrittliche Lithographiewerkzeug und die thermische Kompensation bieten eine sichere Plattform für die Erstellung hochwertiger und komplizierter Geräte und sind somit perfekt für die Entwicklung von Halbleiterbauelementen geeignet. Darüber hinaus ermöglichen sein USB-Datenrahmen und die einfache Setup-Schnittstelle eine schnelle und einfache Bedienung und sein OEE sorgt für hohe Ertragsergebnisse.
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