Gebraucht NIKON NSR 202A #9210121 zu verkaufen
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ID: 9210121
Stepper
Specifications:
Resolution: ≦ 250 nm
NA: 0.60
Exposure light source: KrF excimer laser (248 nm wavelength)
Reduction ratio: 1:4
Exposure field: 25 × 33 (mm)
Alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ): ≦ 45 nm.
NIKON NSR 202A ist ein vollautomatischer Wafer-Stepper, der für eine hochpräzise und zuverlässige Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Es ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation mit einem modularen Design, das kompakt ist und maximale Workflow-Effizienz ermöglicht. NSR 202A verfügt über eine Vision-Ausrüstung, die große Wafer effizient und präzise verarbeiten kann. Es verwendet ein hochpräzises, hochauflösendes 2K-CCD-Objektiv-Array, das die einzelnen Muster und Funktionen auf jedem Wafer erkennen kann. Der Stepper verwendet auch ein fortschrittliches optisches System, das beispiellose Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Belichtung von Wafern gewährleistet. NIKON NSR 202A verfügt über eine innovative Objektiveinheit, mit der die Maschine Wafer mit unterschiedlichen Vergrößerungen abbilden kann. Diese Maschine ermöglicht auch maximale Flexibilität beim Einrichten und Ausrichten, so dass die Maschine Variationen im Chiplayout verschiedener Wafer aufnehmen kann. Die Maschine verfügt auch über einen Autofokus-Mechanismus, der eine wiederholbare Wafer-Positionierung und verbesserte Genauigkeit bietet. Dieses Tool sorgt dafür, dass jedes Mal ein konsistentes Spänemuster und eine gleichmäßige Belichtung erzielt werden. NSR 202A verfügt über eine integrierte Belichtungssteuerung, die eine präzise Belichtungssteuerung Ihres Prozesses ermöglicht. Dieses Modell bietet eine stabile Arbeitsumgebung und ermöglicht fortschrittliche Mustertechniken für eine Vielzahl von Anwendungen. Die Maschine nutzt einen modularen Aufbau und einen Hochgeschwindigkeitsprozessor für branchenführende Leistung. Es verfügt über ein einzigartiges Einzelzimmer-Design, das die Gerätekosten senkt und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung bietet. Darüber hinaus nutzt NIKON NSR 202A eine fortschrittliche Softwarearchitektur, mit der eine Vielzahl von Anwendungen problemlos programmiert und gesteuert werden können. Die benutzerfreundliche grafische Bedienoberfläche ermöglicht eine effiziente und intuitive Einrichtung und Bedienung. NSR 202A ist ein branchenführender Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um das Beste aus Ihrem Halbleiterherstellungsprozess herauszuholen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Präzisionsoptiken bieten eine leistungsstarke und effiziente Möglichkeit, hochpräzise Wafer zu produzieren. Mit seinem modularen Aufbau und der integrierten Belichtungssteuerung ist NIKON NSR 202A ein ideales Werkzeug für jede Waferbearbeitung.
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