Gebraucht NIKON NSR 204B #293628542 zu verkaufen

NIKON NSR 204B ist ein Wafer-Stepper der NIKON Corporation, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es hat einen 4-Zoll-Wafer-Stepper mit Wafergrößen von 3 Zoll, 4 Zoll und 6 Zoll. NIKON NSR-204B ist für Halbleiterproduktionsprozesse wie Ätzen, Lithographie, Inspektion und Scannen konzipiert. NSR 204B ist mit einer 20-Millimeter-Kreisabtastlinse ausgestattet, die die Belichtung des Fotolackfilms über die gesamte Oberfläche des Wafers ermöglicht. NSR-204B hat eine dynamische Genauigkeit von 60 Nanometern und eine Belichtungszeit ist eine schnelle Belichtung von nur einer Sekunde. Es verfügt über eine Doppel-Wirbelstrom-Antriebsausrüstung, die Scanvibrationen reduziert und eine hohe Reaktion auf schnelle Scangeschwindigkeiten und Bewegungen liefert. NIKON NSR 204B ist für eine hohe Wiederholbarkeit mit einer maximalen Unschärfezone von 2 Mikrometern ausgelegt. Es hat eine Mustergenauigkeit von 6 Mikron, mit einer ebenen Oberfläche, um eine hohe Genauigkeit der Musterbelichtung zu gewährleisten. NIKON NSR-204B verfügt außerdem über eine hocheffiziente Antireflexbeschichtung, um Reflexionen zu minimieren und Belichtungsverluste durch Störungen zu minimieren. NSR 204B ist mit einem motorisierten Schlitzabtastsystem ausgestattet, das eine hohe Genauigkeit und Stabilität für die Spaltabtastbelichtung bietet. Die Schneidbelichtungsgenauigkeit wird konstant gehalten, unabhängig von der Art des Musters, das durch Überlappen des Rohteilwafers und des Schneidbelichtungswafers gebildet wird. Die Schlitzabtastgeschwindigkeit beträgt 1 Mikron pro Sekunde, während die Schnittbelichtungsgeschwindigkeit 5 Mikrometer pro Sekunde beträgt. NSR-204B wird mit einer NCU 2000 CNC-Datenschnittstelle gesteuert, die in der Lage ist, Belichtungsprozess, Waferbewegungen, Geschwindigkeit und Positionierung zu steuern. Es verfügt über eine selbstprüfende Maschine, die potenzielle Werkzeugunregelmäßigkeiten identifizieren kann, während die Position und Geschwindigkeit des Scanobjektivs, die Einstellungen der Belichtungsparameter und die Vermögensleistung überwacht werden. NIKON NSR 204B ist auf einfache Wartung ausgelegt und kann schnell ausgetauscht werden. Alle Teile sind für einfache Inspektion und Wartung ausgelegt. NIKON NSR-204B verfügt zudem über eine Sicherheitsfunktion, die Waferbelastung bei unerwartetem Stromausfall verhindert. Es hat auch eine automatische Kalibrierung für die Belichtungsgenauigkeit und für die Ultraschallreinigung der Wafer.