Gebraucht NIKON NSR 2205 EX12B #9225912 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX12B
ID: 9225912
Wafergröße: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 280 nm.
NIKON NSR 2205 EX12B ist ein Waferstepper der nächsten Generation, der für Anwendungen mit hoher Lithographie entwickelt wurde. NIKON NSR-2205EX12B bietet eine beispiellose Auflösung und Genauigkeit für die Abbildung einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Quarz, GaN und Polymeren. Ausgestattet mit einer 12-Strahl-Optik und einer erweiterbaren Ober- und Unterstufe mit hoher Schritt- und Wiederholgenauigkeit von ± 8nm, ist NSR-2205 EX12B in der Lage, Wafer mit einer branchenführenden Funktionsgröße von 70nm zu produzieren. Die hochpräzisen Abbildungsfähigkeiten von NSR 2205EX 12B werden durch das einzigartige, unabhängige Excimer-Lasersystem ermöglicht, das 12-Strahl-Muster erzeugt und Einpass-Belichtung ermöglicht. Das Gerät bietet außerdem ein breites Belichtungsfeld von 18mm mal 18mm und einen leistungsstarken Linienscanmechanismus, der bis zu 8.000 Wafer pro Stunde aufnehmen kann. Darüber hinaus verfügt NSR 2205 EX12B über einen neu entwickelten Vollfeld-Lithographie (FSL) -Algorithmus, der es Anwendern ermöglicht, eine Vielzahl von Layout-Elementen mit einer einzigen Maske für branchenführende Produktivität und Kostensenkung auszuhandeln. NSR-2205 EX 12 B bietet auch eine innovative Bildderotationsmaschine, die Parallelbelichtung und kurzwellige Belichtung ermöglicht und kontrastarme Bilder über ein weites Feld ermöglicht. Die Innovation hilft auch, kritische Fehlausrichtung zu korrigieren, bietet feine Auflösung und höhere Genauigkeit. Darüber hinaus ist NSR 2205 EX 12B mit einem neu entwickelten Korrekturfilter ausgestattet, der fortschrittliche Techniken wie Beugungsgitter und Bildgebung mit konstanter Intensität über das optische Feld verwendet. Für die fortgeschrittene Produktion verfügt NIKON NSR-2205 EX12B über ein integriertes Fehlererkennungs- und Inspektionswerkzeug und ein CCD-freies Alignment-Asset. Das integrierte Erkennungsmodell automatisiert laute oder beschädigte Bildbereiche und passt die Belichtung für eine optimale Bildqualität an, während die CCD-freie Ausrichtungsausrüstung die Maskenfehlstellung und die Waferplatzierung kompensiert, um ein hochgenaues Belichtungsfeld bereitzustellen. NIKON NSR 2205 EX 12B bietet auch ein integriertes Betriebsmonitor und Support-System, das es dem Benutzer ermöglicht, leistungsstarke, fortschrittliche Funktionen und Fähigkeiten zu nutzen, einschließlich Belichtungszeit und Maskenmanagement und -optimierung, erweiterte Datenanalyse, Bildverbesserung und Verzerrungskorrektur, Ertragsverbesserung, Fehlermanagement und vieles. Insgesamt ist NIKON NSR-2205 EX 12 B ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der mit einer 12-Strahl-optischen Einheit, Einpass-Belichtungsfähigkeit und integrierter Fehlererkennungs- und Inspektionsmaschine eine überlegene Auflösung und Genauigkeit bietet. NIKON NSR 2205EX 12B bietet eine leistungsstarke, hochentwickelte Plattform, mit der Anwender Effizienz und Produktivität maximieren und gleichzeitig Kosten senken können.
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