Gebraucht NIKON NSR 2205 EX12B #9251032 zu verkaufen
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ID: 9251032
Stepper
Resolution: 280 nm
TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 Coater / Developer system included
Inline left
Wafer specification: Φ8 Orientation flat
Wafer chuck: NIKON Genuine holder
Reticle specification: NIKON Cassette, 6"
PPD
CYMER ELS-5410 Laser.
NIKON NSR 2205 EX12B wafer stepper ist ein fortschrittliches Werkzeug für die Halbleiterlithographie. Dieses Tool ist bekannt für seine hohe Präzision und zuverlässige bildgebende Leistung. Es ist eine hochzuverlässige Maschine ideal für die Großserienfertigung in der Halbleiterindustrie, die schnelle, aber hohe wiederholbare Ergebnisse erfordert. Es besteht aus zwei Komponenten; die Haupteinheit, die die Optik und eine austauschbare optische Säule aufnimmt. Das Hauptgerät verfügt über eine Reihe von High-End-Funktionen wie ein Umgebungstemperaturbereich von 16-30C mit einem Feuchtigkeitsbereich von 15- 80%. Der Schrank verfügt außerdem über eine automatische Reinigung mit einer eingebauten motorisierten Laminar-Durchflussreinigungsanlage und einem Kühlsystem. Darüber hinaus hat die Haupteinheit eine Abmessung von 804x1110x1579mm und wiegt bei ca. 990kg ein. Die austauschbare optische Säule verfügt über eine Leistungszoom-Einheit und bietet hochauflösende Bildgebung, so dass es eine ideale Wahl für fortschrittliche Chip-Fabrikationen. Es verwertet eine Elektronvermehrermassenspektrometertechnologie, die dem Benutzer ermöglicht, Dosen genau zu messen. Die Säule ist mit einer Vollfeldlinsenmaschine ausgestattet, die Bilder mit überlegener Gleichmäßigkeit erzeugt, was zu einer verbesserten Belichtungsgleichförmigkeit führt. Die Säule enthält außerdem ein Schwingungsisolationswerkzeug zur Verringerung von Schwingungsstörungen. Darüber hinaus bietet NIKON NSR-2205EX12B eine Vielzahl von Ausrichtungsmöglichkeiten wie ein breites Bildfeld und eine automatische Objektivausrichtung. Es verfügt auch über anspruchsvolle bildgebende Funktionen wie variable Belichtungszeiten, variable Belichtungsauflösung, variable Belichtungsgeschwindigkeit und variable Belichtungsdosis. Die Belichtungslichtquelle kann entweder aus einem schmalbandigen HE- oder Xe-Excimerlaser ausgewählt werden. Abschließend ist NSR-2205 EX12B eine ausgezeichnete Wahl für fortschrittliche Chipherstellungen, die präzise, hohe Wiederholbarkeit und zuverlässige Ergebnisse erfordern. Mit seinen High-End-Funktionen, Belichtungsfunktionen und fortschrittlichen Ausrichtungssystemen ist es perfekt für große Produktionsanwendungen geeignet.
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