Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14 #9243870 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14 ist ein Wafer-Stepper, der die hochpräzisen Positionierungsanforderungen von photolithographischen Herstellungsprozessen in der Halbleiterindustrie erfüllt. Es ist in der Lage, lithographische Muster auf Halbleiterscheiben mit beispielloser Genauigkeit und Geschwindigkeit zu erzeugen. NIKON NSR-2205 EX14 basiert auf einer raffinierten optischen Projektionsstruktur von NIKON, die ein ausgezeichnetes NIKON-Objektiv und eine Bühne verwendet, deren Bewegungsbereich innerhalb von 5 μ m flach ist. Das Schnellwechselausrichtungssystem ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen 4-Zoll und 6-Zoll-Wafern, und das frontoffene Design sorgt für eine einfache Beladung und eine effektive Ausrichtung in kurzer Zeit. NSR-2205 EX 14 verfügt über ein automatisiertes Mustererkennungsprogramm, das die automatische Nachverfolgung und Korrektur von Musterdefekten ermöglicht. Darüber hinaus verwendet es ein fortschrittliches digitales Signalverarbeitungssystem, um die Genauigkeit zu gewährleisten und die Zeit zu reduzieren, die für den Abschluss eines Lithographieprozesses benötigt wird. NIKON NSR 2205 EX 14 ist mit einer hochpräzisen 8-Achsen-Stufe und einer schnellen Fokusausrichtung ausgestattet. Dies ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung mit optimaler Fokussierung in einer Vielzahl von Substratgrößen und -techniken. Darüber hinaus bietet ein einzigartiges Einspritz-Sperr- und Linsensystem geringe Off-Axis-Verriegelungskräfte für eine genaue und stabile Positionierung über längere Zeiträume. Darüber hinaus ist NSR-2205 EX14 mit einem mehrstufigen Mapping-Programm ausgestattet, das Wafer-Musterfehlstellungen schnell identifizieren und schnell korrigieren kann. Dies ermöglicht eine engere Prozesskontrolle kritischer Mustercharakteristiken wie Linienkante und Linienbreitenrauhigkeit. Schließlich verfügt NSR 2205 EX 14 über eine komplette Suite von Steuerungswerkzeugen, wodurch die Integration in bestehende Fertigungslinien einfach ist. Es ist auch in der Lage, Software von Drittanbietern wie APC und AutoPC unterzubringen, was eine optimierte Mustersteuerung und programmierbare Prozessautomatisierung ermöglicht.