Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #293591967 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 293591967
Wafergröße: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 0.25 µm CYMER Laser.
NIKON NSR 2205 EX14C ist ein hochmoderner Wafer-Stepper zur Herstellung integrierter Schaltungen. Der Wafer Stepper bietet hochwertige Photolithographie mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Automatisierung. Es verfügt über eine einzigartige digitale Servomotorausrüstung, die eine präzise und genaue Bewegung der Bühne gewährleistet. Das digitale Servomotorsystem umfasst zwei lineare Bewegungsachsen und eine Drehachse, die eine präzise und genaue Ausrichtung des gegebenen Musters ermöglicht. Der Stepper verwendet Laserausrichteinheit, um eine genaue Ausrichtung mit den Druckbereichszentren zu gewährleisten. Die Schrittmaschine weist außerdem ein 4-achsiges geometrisches Korrekturwerkzeug auf, das die Korrektur von Musterverzerrungen durch prozessbezogene Motor- und Stufenvarianzen ermöglicht. Dieses Asset ermöglicht auch das gleichzeitige Drucken mehrerer Gruppen von Mustern sowie eine schrittweise und wiederholte Aufzeichnungsmethode, die dasselbe Muster mehrmals wiederholen kann. Es bringt erhöhte Produktionskapazität und Wiederholbarkeit. Der Stepper hat auch ein schwingungsarmes Modell, das Welligkeit und Geräusche minimiert. Die Laserausrichtung von NIKON NSR-2205EX14C umfasst zwei Laserköpfe und zwei Strahlen, was eine schnelle Einrichtung und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. Die Platzierungsgenauigkeit kann während des gesamten Laufs unverändert bleiben, auch wenn sich die Wafergröße ändert. Darüber hinaus ist der Stepper mit einem hohen NA (numerische Apertur) Beleuchtungssystem ausgestattet, das eine digitale Bildlichtquelle verwendet und sowohl für die Schräg- als auch für die Rückwärtsbildgebung verwendet werden kann. NSR-2205 EX14C ist eine zuverlässige, hochpräzise Schritteinheit, die den hohen Anforderungen heutiger Halbleiterherstellungsprozesse gerecht wird. NIKON nutzt fortschrittliche optische Verarbeitungstechnologien und ein akribisches Gehäusedesign, das die genaue Photolithographie ermöglicht, die in diesen Prozessen benötigt wird. Der Stepper ist für die Serienproduktion mit automatisierter Steuerung und minimaler Wartung für maximalen Durchsatz und minimale Ausfallzeiten ausgelegt.
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