Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #293603626 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 293603626
Stepper.
NIKON NSR 2205 EX14C ist eine fortschrittliche Ultraviolett (UV) Wafer Stepper Photolithographie-Ausrüstung für die Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs), die in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden. Dieses System nutzt eine Kombination aus fortschrittlicher Optik und präzisen Bewegungssteuerungstechnologien, um Bilder genau auf die Wafer zu projizieren. Die Auflösung und Genauigkeit der Einheit gewährleisten eine präzise Ausrichtung der auf den Wafern aufgedruckten Merkmale. NIKON NSR-2205EX14C ist eine vielseitige High-End-Wafer-Schrittmaschine, die sich perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. NSR-2205 EX14C Wafer Stepper ist mit einem Werkzeugbestandteil ausgestattet, der NSR-S307E Serie Reduktion Projektionsoptik, die eine optisch korrigierte 4x Reduktion optischen Asset umfasst. Dies bietet eine hervorragende Bildqualität von nah bis unendlich, mit einem Bildseitenverhältnis von 1: 1. Das optische Modell enthält ein Paar rotationssymmetrischer Linsen, eine für das Objekt und eine für das Bild. Die Linsen sind optisch korrigierte Asphären, die Aberrationen reduzieren und ein hochwertiges Bild liefern. Es nutzt NIKON Electronics Housing Systems (NEHS), die eine einzigartige Herangehensweise an das Layout und die Steuerung der Schrittausrüstung bietet. Das NEHS bietet einen starren Rahmen für Halbleiterwaferbelichtungen, reduziert die Verwerfung des Wafers und ermöglicht eine genaue Vakuumentlüftung und Wartung der Waferoberfläche. Das System verfügt zudem über die neueste NIKON Image Monitor Unit (IMS), die unabhängig von Linsenverschiebung, Temperatur und Gaszusammensetzung ein exakt ausgerichtetes Bild auf der Oberfläche des Wafers beibehält. NSR 2205 EX 14 C wird von einem hochpräzisen Werkzeugregler angetrieben, der eine hohe Positioniergenauigkeit gewährleistet. Diese duale zentrale Prozessoranlage kann bis zu 1.000 elektro-optische Befehle pro Sekunde verarbeiten und bietet so extreme Reaktionsfähigkeit und Genauigkeit. Der Stepper ist auch mit NIKON Scaling Drive Model (SDS) ausgestattet, wodurch die Bildgebungsgenauigkeit des Geräts den Konstruktionsspezifikationen für eine Vielzahl von Lithographieverfahren, einschließlich ultrafeiner Linienbreite, entspricht. NIKON NSR 2205 EX 14C hat die Kapazität, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200mm zu verarbeiten. Es ist mit einem stickstoffgekühlten Vakuum-Kaltblock und einer beheizten LED-Belichtungsquelle ausgelegt, die im Wellenlängenbereich von 365nm bis 435nm arbeitet. Seine DLT (Dual Lithography Table) hat zwei Tabellen und ist in der Lage, Waferaustauschscanning mit einer Rate von 30 Wafern pro Stunde durchzuführen. Kurz gesagt, NIKON NSR-2205 EX 14 C ist ein fortschrittliches UV-Wafer-Stepper-System mit einer hochmodernen optischen Einheit, neuesten Steuerungssystemen und hochpräzisen Verarbeitungsfunktionen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Lithographieanwendungen, die ultrafeine Linienbreiten erfordern und eine überlegene Bildqualität und Genauigkeit bieten.
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