Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9157720 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 9157720
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Stepper, 8" 1998 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C ist ein Waferstepper zur Bearbeitung von Wafern. Dieses Gerät bietet fortschrittliche Lithographie-Funktionen für Produktionsumgebungen, um den Durchsatz zu maximieren und gleichzeitig die Produktionskosten zu minimieren. NIKON NSR-2205EX14C verwendet ein G-Line-Optiksystem mit einem kurzen Arbeitsabstand für Vielseitigkeit und hochauflösende Bildgebung. Dieser Stepper verfügt auch über eine 5-stufige Dosissteuerung, die maximale Overlay-Genauigkeit und Geschwindigkeit ermöglicht. NSR-2205 EX14C kann große Substrate in der Größe von 4-Zoll bis 8-Zoll-Wafern mit einer 4-Zoll-Mindestfunktionsgröße aufnehmen. Es ist mit einer Ultra-Hochauflösung von 0,10 μ m ausgestattet und bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Feldkante und eine hervorragende Overlay-Ausrichtung verschiedener Muster. Für die lokale Strukturierung verfügt dieser Wafer-Stepper über ein Mehrfeldmuster-Feature, das die Strukturierung mehrerer Felder mit unterschiedlichen Parametern ermöglicht. Die NIKON NSR 2205EX 14C verfügt hardwaremäßig über ein elektrostatisches Spannfutter und eine verbesserte vibrationsbeständige Stufe zur Verarbeitung schwerer Substrate. Der Fokusspeicher speichert schnell Linsenpositionen, um einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb zu ermöglichen, während die vibrationsbeständige Stufe eine Strukturierung bei hohen Geschwindigkeiten ermöglicht. Zur zusätzlichen Steuerung verfügt diese Vorrichtung außerdem über eine Antireflexbeschichtung und eine eingebaute Luftlagerspindel zur genaueren Positionierung. Bei der Produktivität wurde NIKON NSR 2205 EX 14C für einen effizienten Betrieb konzipiert, mit einer Zykluszeit von bis zu 1,3 Minuten für einen 4-Zoll-Wafer. Das Gerät verfügt über einen integrierten harmonischen Kompensationsmodus, um die durch den Wafer-Spinnmechanismus verursachten Vibrationseffekte zu reduzieren. Darüber hinaus bietet der Wafer Stepper Anwendern eine automatisierte Wartung und Überwachung, wodurch Sie mehr Kontrolle über Produktionsprozesse erhalten. Insgesamt ist NSR 2205EX 14C ein ideales Waferbearbeitungswerkzeug für Produktionsumgebungen. Die fortschrittlichen Lithographie-Funktionen und die hochauflösende Bildgebung ermöglichen höchste Präzision und Genauigkeit. Mit seinem Langstrecken-G-Line-Optiksystem, Mehrfeldmusterfunktion und effizientem Betrieb kann dieser Wafer-Stepper helfen, den Durchsatz zu maximieren und Kosten zu senken.
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