Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9192103 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14C ist ein 5-Zoll-Schrittprojektionsausrichter, der für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsanwendungen verwendet werden kann. Es wurde entwickelt, um Merkmale auf Halbleiter-, Photomasken- und Mikrodevice-Wafern präzise und wiederholbar zu mustern. NIKON NSR-2205EX14C hat eine 5-Zoll-Projektionsfläche und kann bis zu 6 "Wafer handhaben. Es kann mit einer Vielzahl von Vergrößerungen arbeiten und Auflösungen bis zu 0,25 Mikrometer bereitstellen. Die Maschine ist in der Lage, bis zu vier verschiedene Abbildungskanäle zu überlagern, um den Durchsatz und die Flexibilität zu erhöhen. Es hat auch Kerbflexibilität, so dass es Verarbeitungsunregelmäßigkeiten in einem Wafer aufnehmen kann. NSR-2205 EX14C verfügt über eine Strahlaustastvorrichtung, die eine präzise Ausrichtung gewährleistet. Es hat auch eine Antireflexionsbeschichtung, um Verzerrungen zu reduzieren. Dieses System verwendet eine hochauflösende, langwellige Laser Interferometry Unit (LIS), um die Position von Substraten bis zu einer Genauigkeit von 0,1 Mikrometern zu messen. Die Maschine umfasst eine von Piezoaktoren angetriebene Stufe, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es enthält auch ein gasförmiges Rastek-G Servowerkzeug, das eine Feinpositionierung der Bühne ohne Jitter ermöglicht. NSR 2205 EX14C verwendet einen Linearmotor für schnelle Beschleunigung und Verzögerung sowie hochgenaue Positionserkennung. Es kann bis zu 10.000 Wafer pro Stunde mit einem Durchsatz von 150 mm/s verarbeiten. Das Asset umfasst unser proprietäres NIKON Smart Corneal Alignment (SCA) -Modell, das die Rüstzeiten erheblich verkürzen kann. Neben der Strukturierung von Wafern kann NIKON NSR 2205 EX 14C für eine Vielzahl hochpräziser Mikrofabrikationsanwendungen wie Alterungs-, Abscheide- und Ätzprozesse eingesetzt werden. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Wafer Easy Scanning (WES) -Modi, die eine automatisierte berührungslose Waferinspektion und automatisierte Fehlerüberwachung und -klassifizierung ermöglichen. Insgesamt ist NIKON NSR-2205 EX14C ein hochgenauer und zuverlässiger Schrittprojektionsausrichter für alle Arten von Mikrofertigungsanwendungen. Es ist vielseitig und leistungsstark und wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Produktionsumgebungen zu erfüllen.