Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9251796 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 9251796
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Stepper, 8" 1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C ist ein Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um mikroelektronische Schaltungen korrekt auszurichten und gleichzeitig die Größe von Halbleiterbauelementen zu reduzieren. Es ist eine fortschrittliche Immersions-Lithographie-Ausrüstung, die extrem präzise Muster für Photomasken erzeugen kann. Dieses System ist mit der neuesten Immersionsoptik-Technologie ausgestattet, die Aberrationen durch eine herkömmliche Brechprojektionsoptik reduziert. Es verfügt außerdem über eine hochgenaue Waferstufe und eine High-End-Piezo-Kameramaschine mit hoher Genauigkeit für verbesserte Ausrichtungsgenauigkeit. Die hochmoderne NIKON NSR-2205EX14C-Optik liefert einen hohen Waferdurchsatz und verfügt über eine numerische Apertur (NA) von 1,35. Die Optik sorgt für eine hohe Gleichmäßigkeit über das gesamte Sichtfeld. Es ist in der Lage, eine Feldgröße von bis zu 10 x 10 mm in x-Richtung und 6,2 um in y-Richtung. Das Werkzeug ist für Wafer bis 180 mm Durchmesser mit einer Stufenwiederholbarkeit von 0,6 um in x- und y-Richtung ausgelegt. Es verfügt auch über einen Bildfokusbereich von 3-15 mm für unterschiedliche Belichtungsbedingungen mit Schritt- oder Scannerbetrieb. Darüber hinaus verfügt NSR-2205 EX14C über eine Windows XP-basierte Benutzeroberfläche der nächsten Generation, die die Belichtung und andere Parameter steuert. Diese Benutzeroberfläche bietet einen umfassenden Überblick über die Systembelichtungsbedingungen, wodurch die Einstellungen schnell angepasst und genaue Ergebnisse gewährleistet werden können. Die Schnittstelle umfasst auch Software-Tools wie Autofokus, Auto-Reticle-Ausrichtung und Bildkorrektur. NSR 2205 EX 14C verfügt auch über einen eingebauten Wafer Mark Reader. Dadurch wird sichergestellt, dass die auf die Wafer geätzten Teilenummern korrekt identifiziert und sicher in den Asset-Protokollen gespeichert werden. Darüber hinaus ist es mit einer fortschrittlichen Kühleinheit ausgestattet, die die innere Teiletemperatur reduziert und die Modellstabilität und Haltbarkeit verbessert. Insgesamt ist NIKON NSR 2205 EX 14C eine fortschrittliche Lithographieausrüstung, die entwickelt wurde, um eine präzise Ausrichtung und Mustergenauigkeit für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Es verfügt über innovative Bildgebungstechnologien, hochgenaue Bildgebungssysteme, eine benutzerfreundliche Windows-basierte Schnittstelle und einen integrierten Wafermarkenleser. Es ist für Anwendungen wie Logic Gate Lithographie und High-Density-Interconnect-Verdrahtung konzipiert.
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