Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9273096 zu verkaufen
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ID: 9273096
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Stepper, 8"
Reticle: 6"
Reticle library: 10
Field size: 22 mm
NA Variable
Reduction ratio: 1/5
Pre alignment
CCD Camera
Particle detector type: PPD3
Wafer loader: Type 3
Multipoint AF (49 Channels)
Inline: Right (ACT 8)
EXCIMER ELS 5410 Laser
Illumination: 1 kW
FIA
No LIA
No periphery exposing
Base kit: BASEEX502-0011C
Highland type: Standard
Chamber temperature: 23°C
1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C ist eine Abtaststufe, eine Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses All-in-One-Gerät ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es für die Waferbelichtung geeignet machen. Die professionelle Klasse Stepper bietet hochauflösende Bildgebung und Low Distortion Imaging, mit einer Auflösung von bis zu 6 micron. Es wurde für High-End-Prozesskompatibilität mit den neuesten Herstellungsprozessen konzipiert. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Motorentechnologie des Systems lange Belichtungszeiten mit geringen Vibrationen und schnellen Bildgebungsgeschwindigkeiten. NIKON NSR-2205EX14C hat zwei Belichtungsmodi: Single Pulse Exposure (SPE) und Broadcast Scanning Unit (BBS). Beide Modi eignen sich für die Herstellung von Flachbildschirmen und Halbleiterbauelementen mit hoher Genauigkeit. Der SPE-Modus bietet eine hohe Auflösung von bis zu 0,3 Mikrometer ohne Brenntiefenbegrenzung, während der BBS-Modus eine große Serienproduktion von Wafern mit reduzierter Belichtungszeit ermöglicht. Der Stepper unterstützt auch Rezept-Management und Programmierung ermöglicht eine verbesserte Prozesssteuerung. Die Software bietet verschiedene Tools wie Job Tracking, Overlapped Exposure Scanning, Automatic Exposure Focus Scanning und Image Matching. Die Maschine bietet eine benutzerfreundliche Umgebung für Betrieb und Wartung. Es enthält eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die die Programmierzeit minimiert und die Überprüfung von Schritten während der Waferbelichtung ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Tool eine Reihe intelligenter Sicherheitsfunktionen, darunter einen großen Sicherheitsschutz und einen motorisierten Wafer-Batch-Handler. Insgesamt ist NSR-2205 EX14C ein sparsamer, aber leistungsfähiger Wafer-Stepper, der hochwertige Bildgebung und Produktion für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der intuitiven Benutzeroberfläche ist dieses Asset ideal für die Chipproduktion in großem Maßstab geeignet.
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