Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9301516 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 9301516
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Stepper, 8" Resolution: 0.25um Wafer loader type: Type3, NC Pre2 Reticle, 6" Max expose field size: 22 mm x 22 mm Reticle library: (10) Slots CYMER 5400 Laser system PPD Bar code reader Alignment system: LSA, FIA Inline: Left Chamber type: Sendai S32 2000 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C Wafer Stepper ist eine vielseitige Photolithographie Ausrüstung entwickelt, um Präzisionsmuster dicke und dünne Schichten von lichtempfindlichen Widerständen auf einer Vielzahl von Substraten. NIKON NSR-2205EX14C ist mit modernsten Funktionen ausgestattet, darunter ein hochfrequenter Scanpfad, hochauflösende Projektionsoptiken, digitale Bildgebungsfunktionen und ein umfassendes Softwarepaket. Das digitale Bildgebungssystem von NSR-2205 EX14C ermöglicht die Erfassung sehr detaillierter Bilder der gemusterten Resists. Dies wird mit fortschrittlichen Laserbelichtungs- und Laserbeleuchtungstechniken erreicht, die eine gleichmäßige Belichtung im gesamten gemusterten Feld gewährleisten. Das Gerät enthält auch eine ausgeklügelte Maskierungsfunktion, die die genaue Platzierung von Strukturen und anderen Merkmalen gemäß den Konstruktionsregeln ermöglicht. Der hochfrequente Abtastpfad von NSR-2205EX14C dient zur Verarbeitung der lichtempfindlichen Resiststoffe über weite Bereiche mit hoher Geschwindigkeit. Dies geschieht durch die Kombination mehrerer variabler Drehzahlmotoren, Stufensteuerungsservos und Drehgeber, die eine präzise Positionierung der Bühne während der Belichtung ermöglichen. Außerdem sorgt der hochfrequente Abtastpfad dafür, dass der Resist über seine gesamte Länge gleichmäßig mit minimaler Verzerrung belichtet wird. NIKON NSR-2205 EX 14 C verfügt zudem über eine extrem hochauflösende Projektionsoptik, die eine genaue Abbildung der zu strukturierenden Struktur ermöglicht. Die Optik bietet eine hohe numerische Apertur und geringe Verzerrung, wodurch feinste Details präzise strukturiert werden können. Die Optik bietet auch eine große Schärfentiefe, so dass der Stepper überlappende Schichten mit kleineren Merkmalen ohne Verzerrung mustern kann. Schließlich verfügt NSR 2205EX 14C über ein umfassendes Softwarepaket, das den Gesamtbetrieb des Photolithographie-Tools verwaltet. Die Software ist benutzerfreundlich und intuitiv gestaltet und bietet dem Benutzer eine breite Palette an anpassbaren Optionen, von der Auftragsplanung über die Datenverwaltung bis hin zur Photonen-Dosisüberwachung und Protokollierung wichtiger Parameter. Insgesamt ist NSR 2205 EX14C Wafer Stepper eine vielseitige, zuverlässige und präzise Photolithographie-Anlage, die eine Vielzahl von Widerständen auf großen Flächen mit außergewöhnlicher Genauigkeit mustern kann. Dies macht es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Photolithographie-Anwendungen.
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