Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9375190 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14C
ID: 9375190
Stepper CYMER ELS 5400 Laser Missing parts: Wafer loader unit: Wafer loader: Type III A-406 WLSP Waiting table plate P/N: 4S015-151 Reticle loader unit A-100 PW-NA, P/N: 4S001-062 A-105 PPD-DRV, P/N: 4S007-608 A-800 PW-NA OPD Unit Stage unit: Wafer holder CT Pin Power AMP Unit P/N: A-20P PW-NB, P/N: 4S001-063 A-216 ZTFP, P/N: 4S069-668 A-217 ZTDRV8, P/N: 4S018-137 A-220 EPFP, P/N: 4S069-668 A-224 ADDRV1, P/N: 4S018-317 ADE(Z) Power AMP unit Alignment Unit NC-PRE2 Unit Cable A-510 NK386SX4, P/N: 4S015-150 Lens control unit Mouse Inverter CATC Filter guide CATC Filter.
NIKON NSR 2205 EX14C ist ein hochpräziser, volumenstarker Wafer-Stepper. Der Stepper kombiniert fortschrittliche Automatisierung mit verbessertem Stromverbrauch und einem neuen Bühnenbild für überlegene Produktivität. Es hat einen akzeptablen Bereich von Wafergrößen von 8-Zoll bis 12-Zoll-Durchmesser in der Mitte-Loch und Schaft Standardkonfigurationen. Sein einzigartiges Merkmal ist die High-Level Automation Equipment (HLAS), die mit einer verbesserten Überrollbühne, integrierter Wärmeplatte und integrierter Optik arbeitet. Dies sorgt für optimale Präzision bei hochvolumigen, hochpräzisen Anwendungen. Der Stepper hat ein sehr stabiles, gesteinsfestes Scanfeld. Es hat einen schnellen, hochauflösenden Motorantrieb, der Hochleistungsinformationsaustausch mit seinem Robot Alignment System (RAS) für die verbesserte Operationsstabilität annimmt. Es ist auch mit einer maximalen Ripple Correction Unit (MRCS) ausgestattet, die eine kontinuierliche Waferbewegung ermöglicht, die Wafer-Deformation während der Ausrichtung zu korrigieren. Dies erleichtert ein hochgenaues Layer-to-Layer-Overlay ohne häufige Fokusanpassungen. Der Stepper verfügt über eine verbesserte Motion Control Machine (MCS) und ein integriertes Alignment Tool (ALS) zur präzisen Positionierung sowie eine maximale nicht-3-dimensionale Ausrichtungsgenauigkeit von 0,25 Mikrometern. Es hat auch verbesserte Ergebnisse mit langen Belichtungszeiten, die größere Fokustiefe ermöglichen. Damit hat NIKON die höchste Indexierungsgenauigkeit und den stabilen Betrieb der Branche über mehrere Tage erreicht. Der Stepper verfügt außerdem über eine High-density Illumination Asset (HIS) und High-Power Illumination Disable Curve (IC) für eine verbesserte Beleuchtungsgleichmäßigkeit und Verringerung des Partikelspiegels. Es verfügt auch über NIKON Exclusive Autoagitation & Etching (FX), die für eine effiziente automatische Bewegung von korrosiven Flüssigkeiten konzipiert ist. Dies hilft dem Modell, die Erträge zu verbessern und die Betriebskosten zu senken, ohne dass zusätzliche menschliche Eingriffe erforderlich sind. NIKON NSR-2205EX14C Wafer Stepper verfügt auch über eine fortschrittliche Prozesskontrolle, die die Bedingungen der Wafer überwacht, um eine optimale Fertigungsausbeute und langfristige Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das System ist sowohl mit parametrischen als auch mit statistischen Prozesskontrollmethoden ausgestattet, um äußerst zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Schließlich verfügt es auch über einen Abkühlmechanismus, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu gewährleisten und die Maschine über einen langen Dauerbetrieb zu schützen.
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