Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14C #9379629 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14C ist ein hochmoderner Wafer Stepper, der eine genaue und gleichmäßige Belichtung von Wafern ermöglicht. Es verfügt über eine 14-Zoll-5-Mikron-Auflösung, eine klassenführende Immersionsoptik und eine patentierte Immersionslinse, die eine extreme Kontrolle und Genauigkeit bei der ultrafeinen Strukturierung ermöglicht. NIKON NSR-2205EX14C ist für den Reinraumgebrauch konzipiert und auf die Verarbeitung von bis zu 300mm Wafergrößen optimiert. Es ist in der Lage, einen hohen Durchsatz bei maximaler Prozessstabilität und Wafer-zu-Wafer-Variation zu erreichen. Es verfügt über eine Ausrichtungsgenauigkeit von 5nm mit Wiederholbarkeit von 0.1nm und bietet eine Schussexposition von 10nm Strukturen. NSR-2205 EX14C wird von einer NIKON-exklusiven Mehrstrahl-Optik angetrieben, die zweidimensionale Belichtungen mit einem einzigen Scan ermöglicht. Dieses System ermöglicht auch eine aberrationsarme Bildgebung und eine hohe Durchlässigkeit für transparente Bereiche. Die Kabine verwendet einen innovativen 6-Grad-Freiheitseinarmmechanismus, der einen Einzel-ARM-Filterscanmechanismus implementiert, um eine erhöhte Bildstabilität und -genauigkeit zu gewährleisten. Der Wafer-Stepper verfügt auch über eine modulare I/O-Platine, die Multi-Prozess-Bilderfassung und parallele Bildverarbeitung unterstützt. Diese Einheit verbessert den Durchsatz und führt die Batch-to-Batch-Konsistenz in die Produktion ein. Der Stepper verwendet eine fortschrittliche, hochauflösende CCD-Kamera mit begrenzter Belichtungszeit, die eine schnellere Bearbeitungszeit ohne Qualitätseinbußen ermöglicht. NSR 2205 EX14C enthält auch rezeptgesteuerte Operationen für Rezeptkonfigurationen und ermöglicht die Speicherverwaltung für mehrere Rezepte. Es enthält auch eine Inspektionsmaschine, um fehlerhafte Expositionsbedingungen und Belichtungsparameter zu erkennen und zu beseitigen. Der Wafer-Stepper unterstützt den Einsatz optionaler Bühnenscanner, die eine volle Belichtung in einem Arbeitsgang für komplexe Strukturen ermöglichen. Schließlich stehen eine Vielzahl von Zubehör und Software zur Verfügung, um den Wafer Stepper in vollen Zügen zu nutzen. NSR 2205 EX 14C ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das eine präzise und gleichmäßige Verarbeitung ermöglicht. Es ist eine ideale Wahl für die Herstellung von ultrafeinen Mustern und transparenten Bereichen auf Wafern und anderen Substraten.