Gebraucht NIKON NSR 2205 EX14D #293817938 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 EX14D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 EX14D
ID: 293817938
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.65 Resolution: 250-400 nm DCO: 40 Throughput (WPH): 99.
NIKON NSR 2205 EX14D Wafer Stepper ist ein fortschrittliches Stück Wafer-Lithographie-Ausrüstung, die für die Schaffung von Schaltungen auf Oberflächen von Mikrostrukturen verwendet wird. Das Gerät verfügt über ein voll integriertes, computergesteuertes vierstufiges Wafer-Scanner-Bühnensystem, das als Grundlage für seine effiziente Bedienung und Genauigkeit dient. NIKON NSR-2205EX14D kann eine Mustergleichmäßigkeit von 0,5 μ m bei einer Mindestlinienbreite von 0,6 μ m erreichen. Die Ausrichtgenauigkeit beträgt bis zu 0,8 μ m. NSR 2205 EX14D enthält auch eine extrem helle NIKON-Belichtungseinheit, die eine Hochleistungs-UV-Laserfleckgröße von 0,15 μ m und eine genaue Belichtung bietet, um eine überlegene maximale Bildauflösung von über 1k Tonhöhe zu erreichen. Die Maschine ist mit vier mehrstufigen Muster- und Waferbearbeitungsprozessen sowie einer hohen Kontrollgenauigkeit ausgestattet, einschließlich der Fähigkeit, Temperaturen, Gase, Endpunkte, Abtastrate und Schwenkwinkel zu kontrollieren. NSR-2205EX14D verfügt über eine moderne Lithographiesoftware, die aus einem einzigartigen SPC1 Softwarepaket besteht, das es dem Benutzer ermöglicht, Parameter sowohl für Belichtungs- als auch für Waferausrichtungsprozesse zu programmieren, zu analysieren und zu modifizieren sowie Berichte zu erstellen. Darüber hinaus kann die Software verwendet werden, um eine Vielzahl von Optimierungsalgorithmen bereitzustellen, um die Qualitätskontrolle jeder produzierten Probe sicherzustellen. Das Werkzeug nutzt auch seinen 16-Kanal-Leitungsgenerator, um die Ergebnisse weiter zu verfestigen. Im Hinblick auf die Sicherheit ist NIKON NSR 2205 EX14D hochsicher, da es mehrere Lockout-Mechanismen gibt. Darüber hinaus kommt die Anlage mit Acrylat (PMMA) farbigen Filtermaterialien, die die Verwendung von gefährlichen chemischen Materialien verhindern hilft. Abschließend ist NIKON NSR-2205EX14D ein hochgenauer und sicherer Waferstepper, der sich hauptsächlich für die Herstellung von Dünnschichtelektronik und Mikrostrukturen in der Halbleiterindustrie eignet. Es verfügt über ein vierstufiges, hochgenaues Wafer-Scanmodell, einen leistungsstarken UV-Laser und ein SPC1 Softwarepaket, um sicherzustellen, dass seine ausgeklügelte Funktionalität auf höchstem Wirkungsgrad ist. Darüber hinaus bietet es auch eine hohe Sicherheit durch seine Sicherheitsmechanismen und Farbfilter.
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