Gebraucht NIKON NSR 2205 i11C #9224341 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11C ist eine Wafer-Schrittmaschine, die für ihre bildgebenden Prozesse die Laserlithographie von ArF (Argon Fluorde) verwendet. Diese Maschine ist für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ausgelegt, insbesondere für die Herstellung moderner komplexer Bauformen. Es bietet überlegene Bildgebung in der gesamten Palette der aktuellen Lithographie-Designs. NIKON NSR-2205I11C wird um seine beiden ArF-Laserlichtquellen gebaut. Dieses Laserlicht bietet eine ausgezeichnete Auflösung und Vermeidung von Kreuzkontamination aufgrund seiner 193nm Wellenlänge. Das Laserlicht ist auf das Retikel gerichtet, das eine dünne, transparente Platte mit opaken Mustern darauf ist. Die Muster auf der Retikelplatte definieren das gewünschte Muster auf dem Wafer. Das Retikel wird auf einem Kalibriertisch unterhalb eines Zweilinsenkondensators gehalten, der dann das Laserlicht auf den Wafer fokussiert. Die Waferbühne der NSR 2205 I 11 C ist für eine präzise Bewegung und Positionierung des Wafers selbst ausgelegt. Seine Positioniergenauigkeit liegt innerhalb ± 1 μ m und seine maximale Wafergröße beträgt 200mm. Die Waferbühne ist mit einem Zeiss primoStar HD automatisierten Ausrichtsystem für präzise Einstellmessungen ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise Erfassung des Wafers auf der Bühne, was eine präzise Ausrichtung der Muster vom Retikel auf den Wafer ermöglicht. NIKON NSR 2205 I 11 C verfügt auch über eine breite Palette von Ausrichtungsmarken, darunter Phasenverschiebungsmarken, Pupillenvariationen, Ringmuster und Ausrichtungsmarken. Diese Merkmale ermöglichen eine präzise Ausrichtung der Fotomaske auf den Wafer während des Projektionslithographievorgangs. Darüber hinaus sorgt die Autofokussierbarkeit der NSR 2205 i11C dafür, dass die Muster der auf dem Wafer aufgedruckten Fotomaske genau und konsistent hergestellt werden. Darüber hinaus verfügt NSR-2205I11C über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), die einfach zu bedienen ist. Es verfügt auch über eine Bibliothek mit vordefinierten Ausrichtungs- und Belichtungsrezepten, die gespeichert und abgerufen werden können. Darüber hinaus verfügt dieser Wafer-Stepper über eine Reihe von intelligenten Sensoren, die zur genauen Überwachung der Prozess- und Umgebungsbedingungen eingesetzt werden können. NIKON NSR 2205 i11C ist aufgrund seiner präzisen Bildgebungs- und Ausrichtungsfähigkeit ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die beiden ArF-Laserlichtquellen bieten eine hervorragende Auflösung, während die Zeiss primoStar HD-automatisierten Ausrichtungen eine präzise Positionierung und Ausrichtung der Wafer gewährleisten. Die intelligenten Sensoren und GUI verbessern die Anwendersteuerung und die vordefinierten Rezepte sorgen für eine schnelle und effiziente Umsetzung und unterstützen bei der Herstellung komplexer Designs.