Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #293587312 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 293587312
Steppers.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Vollfeld-i-Line-Stepper für die Massenproduktion von Halbleiterbauelementen. Es nutzt hochentwickelte Technologien wie NIKON original i-line Optik, ein Full-Field-Ausrichtgerät, eine Präzisionsstufe, ein Multi-Zone Auto-Temperatur-Kontrollsystem und Auto-Kalibrierungstechnologie für überlegene Overlay-Genauigkeit. NIKON NSR-2205I11D Stepper bietet eine Auflösung von bis zu 5 nm (45 nm Tonhöhe) und verfügt über eine In-Column-Scan-Technologie, um schnelle Schritt- und Wiederholungszeiten zu ermöglichen. Dieser Stepper bietet dank seiner fortschrittlichen Hardware und Software eine hohe Verfügbarkeit mit niedrigen Betriebskosten. Optisch verwendet NSR 2205I11D eine chromatische aberrationsfreie optische Einheit, die eine Vollfeldausrichtungsmaschine verwendet, die den Projektionswinkel und den Neigungswinkel der Linse automatisch anpasst, um eine optimale Ausrichtung des Bildes zu gewährleisten. Zum optischen Werkzeug gehört auch ein Laserinterferometer, das eine hochpräzise Fokussierung gewährleistet. Der Stepper ist auch mit einer Entfernungsfindungs-Laser-Option ausgestattet, so dass er die Linse vor dem Start der Bildgebung genau ausrichten kann. Die Multi-Zone Auto-Temperatur-Steuerung des Steppers optimiert die Temperatur der Bühne und ermöglicht eine überlegene Bildstabilität auf Sub-Micron-Ebene, so dass es eine gute Wahl für ultrapräzise Bildgebung und Lithographie ist. Zusätzlich bietet ein Mehrzonen-Wafer-Spannfutter stabile Wafer-Nivellierung und inspiziert den Wafer vor jedem Bildgebungsschritt, so dass wiederholbare und konsistente Bilder möglich sind. NSR 2205 i11D ist auch mit fortschrittlicher Software ausgestattet, die eine automatisierte und optimierte Setup-Verarbeitung ermöglicht. Der Stepper ist mit einer Reihe von Kalibrierfunktionen ausgestattet, einschließlich der automatischen Defokussierung, um eine optimale Bildqualität zu gewährleisten, sowie einem vollautomatischen Fokuseinstellungsalgorithmus und einer automatischen Kalibriertechnologie, um die höchste Prozesswiederholbarkeit und Overlay-Genauigkeit zu erreichen. Insgesamt ist NIKON NSR-2205 I11 D eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung von Serien-Halbleiterbauelementen, da es fortschrittliche i-line-Optik, Vollfeldausrichtung, Entfernungsfindungslaser, automatische Temperaturkontrolle und Präzisionssoftware-Algorithmen verwendet, um eine hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und niedrige Betriebskosten zu gewährleisten.
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