Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #293606711 zu verkaufen
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ID: 293606711
Stepper
Resolution: 0.35
NA: 0.63
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Hochleistungs-Stepper, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und andere Waferherstellungen entwickelt wurde. Der Stepper ist so konzipiert, dass er präzise und wiederholbare Mikrofabrikationsergebnisse durch einen außergewöhnlich großen Belichtungsschwankungsbereich von 0,2 bis 45,0 μ m liefert. Der Stepper verfügt zudem über eine extrem geringe Ausrichtungsgenauigkeit von 0,05 μ m und ist damit die ideale Wahl für hochpräzise Verarbeitungs- und fortschrittliche Technologieentwicklungsanwendungen. NIKON NSR-2205I11D verfügt über eine proprietäre Bildzentrierung, die eine präzise Ausrichtung und Positionsgenauigkeit über eine Vielzahl von Belichtungsfeldern und Substratgrößen gewährleistet. Das Zentriersystem kompensiert auch Substratverzug, bewegungsinduzierte Positionsfehler und Retikle Refresh Defokus, um eine hochgenaue und wiederholbare Leistung zu bieten. Der Stepper ist zudem mit einer intelligenten Messeinheit ausgestattet, die eine detaillierte Waferbeobachtung, Auswertung und Rückkopplung während einer einzigen Exposition ermöglicht. Eine einfache, intuitive Benutzeroberfläche macht NSR 2205I11D einfach zu bedienen und zu verwalten. Die benutzerfreundliche Steuerung ermöglicht einen schnellen, intuitiven Zugriff auf alle Schrittparameter sowie eine detaillierte Kalibrierung und Wartung für eine Vielzahl von Verarbeitungsbedingungen. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht automatisierte Rezepte für einfache Einrichtung und Steuerung mit visueller Bearbeitungsprüfung und Rückverfolgbarkeit. Ein weiteres zentrales Merkmal von NIKON NSR-2205 I 11 D ist seine fortschrittliche optische Maschine, die ein sauberes Bildfeld mit überlegenem Kontrast und klaren Bildern liefert. Durch den Einsatz einer Phasenschiebetechnik ist der Stepper in der Lage, Photomasken mit extrem geringer Fehlerdichte und hohem Kontrast über ein großes Belichtungsfeld zu erzeugen. Darüber hinaus gewährleistet die hohe Geschwindigkeit und die geringe Leistungsfähigkeit, dass bis zu 4,5 Wafer pro Stunde verarbeitet werden können. Die eingebaute Temperaturkompensation und der breite Arbeitsbereich des Steppers verbessern diese Fähigkeit weiter. Insgesamt ist NSR 2205 I 11 D ein leistungsstarker, zuverlässiger und vielseitiger Stepper, der präzise und qualitativ hochwertige Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und anderen Waferprozessen liefert. Es ist sehr zuverlässig, mit einer besonders geringen Ausrichtungsgenauigkeit von 0,05 μ m und kann bis zu 4,5 Wafer pro Stunde verarbeiten. Mit einer einfachen, einfach zu bedienenden Benutzeroberfläche und einem fortschrittlichen optischen Werkzeug ist NSR-2205 I11 D eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen mit hoher Präzision und fortschrittlicher Technologieentwicklung.
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