Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #293607244 zu verkaufen
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ID: 293607244
Stepper
Lamp illumination:
Average power: 560.407 mW/cm²
Uniformity: 1.026%
X-Y Axis:
Maximum: 0.039, 0.028
Minimum: -0.039, -0.053
Lens distortion within ±0.050 µm
Field inclination:
Max-min within 0.230 µm
Curvature within -0.029 µm
UL-LR, UR-LL within 0.012, 0.092 µm
Stepping accuracy:
Stepping: 3δ≤45 nm - X:18, Y:42
Backlash: 3δ≤45 nm - X:28, Y:42
LSA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 23
Mean-Y/3δ: 12
3δ+|X|: 14
3δ+|Y|: 32
FIA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 8
Mean-Y/3δ: 26
3δ+|X|: 21
3δ+|Y|: 20.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Top-Wafer-Stepper von NIKON. Es ist eine vollautomatische Präzisionsausrichtmaschine, die eine exakte Kontrolle über die Belichtung eines Wafers ermöglicht. Der Wafer-Stepper ist mit einer optimierten Optik und einem Bewegungssteuerungssystem ausgestattet, was ihn zu einem effizienten Werkzeug für die Fein- und Hochgenauigkeitsbelichtung macht. Die präzise Optikeinheit soll die Abweichung von Belichtungsparametern reduzieren und eine gleichmäßig belichtete Oberfläche gewährleisten, die sowohl den Durchsatz als auch die Ausbeuten optimiert. Das Gerät arbeitet, indem es eine Maske auf einen Wafer projiziert und präzise Belichtungseinstellungen verwendet, um ein Muster auf der Waferoberfläche zu erstellen. Das projizierte Muster wird dann mit einem Schrittmotor auf den Wafer aufgebracht, der den Projektionsbereich bewegt. NIKON NSR-2205I11D enthält einen hochpräzisen Servomotor, der mit einem Encoder gekoppelt ist, der eine präzise Positionsrückmeldung liefert. Diese Kombination ermöglicht präzise Belichtungseinstellungen und optimierte Genauigkeitsstufen. Der Wafer Stepper ist in der Lage, maximal 8-Zoll-Wafer mit einer maximalen Mustergenauigkeit von 1.9um über einen 1Ã "° Belichtungswinkel zu handhaben. NSR 2205I11D wurde entwickelt, um Ausfallzeiten und Wartungskosten dank seiner langlebigen, zuverlässigen Konstruktion und kurzen Wartungszeiten zu reduzieren. Es verfügt auch über einen automatischen Vorausrichter, der eine präzise Ausrichtung gewährleistet, auch wenn der Stepper nicht kalibriert ist. Das Gerät ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einer Vielzahl von Ein- und Ausgabeoptionen ausgestattet, die eine einfache Steuerung und Überwachung ermöglichen. Die Maschine kann auch über einen Ethernet-Anschluss mit anderen NIKON-Maschinen verbunden werden. NSR 2205 I11 D ist ein umfassender Wafer-Stepper, der eine präzise, zuverlässige Belichtungsverarbeitung und verbesserte Durchsatzraten bietet. Seine optimierte Optik-Maschine und Bewegungssteuerungswerkzeug ermöglichen optimale Mustergenauigkeit und Zuverlässigkeit, während seine hochpräzise Motor und Encoder eine präzise Ausrichtung ermöglichen. Der NSR 2205 i11D wurde für langfristige Zuverlässigkeit und geringe Wartungskosten entwickelt und ist der perfekte Stepper für anspruchsvolle Belichtungsprozessanwendungen.
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