Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #293609472 zu verkaufen
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ID: 293609472
Stepper
Resolution: 0.4 µm
DOF: 0.6 µm
Total focus deviation: ≤0.4 µm
Lens inclination: ≤0.2 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Focus control accuracy: Within ±0.15 µm
Illumination uniformity: Within ±2.5%
Power: 700 mW/Cm²
Reticle blind setting accuracy: Within +0.40 mm to +0.80 mm
Reticle rotation: |x|+3s≤20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 s
Stepping precision: Within 0.040 µm (3σ)
Alignment accuracy (LSA, FIA): |Mean|+3s <0.085 µm
Wafer pre-alignment repeatability: Within ±1.5 s
Wafer flatness: <0.8 µm.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist eine hochentwickelte Auto-Stepping-Ausrüstung für fortschrittliche Lithographie-Prozesse sowie qualitativ hochwertige Bildgebung von Halbleiterscheiben. Dieses System verwendet eine ultrahochauflösende Digitalkamera, um Bilder der Halbleiterbauelemente von höchster Qualität zu erfassen, und verwendet dann einen Präzisionsschrittmotor, um Photomaske und Wafersubstrat genau in die gewünschte Position zu bringen. NIKON NSR-2205I11D nimmt diese Bilder auf und leitet sie an einen hochentwickelten automatischen Schrittprozessor weiter, der die Genauigkeit und Konsistenz über mehrere Wafergrößen und Photomaskenkonfigurationen hinweg gewährleistet. Das Gerät kombiniert Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit dem Fokus auf die Reduzierung der Zykluszeit und die Minimierung verschwendeter Maschinenressourcen. Dazu werden erweiterte Funktionen wie ein erweitertes Ladetool, eine Dual-Achsen-Schnittstelle und eine seitliche Verschiebefunktion verwendet. Das Dual-Achsen-Asset ermöglicht eine feinere Bildauflösung und einen größeren Durchsatz des Lithographie-Prozesses mit einem Bewegungsbereich von 30 Mikrometern für jede Achse und einer Genauigkeit von plus oder minus 1,4 Mikrometern. Das Seitenverschiebungsmerkmal kann für Wafer unterschiedlicher Größe verwendet werden, so dass ein aufeinanderfolgendes Abtreten eines beliebigen Größensubstrats möglich ist. NSR 2205I11D verfügt über ein einzigartiges Antriebsmodell, das einen hohen Durchsatz für Photomaske- und Wafer-Transfers gewährleistet. Es ist mit einem zweimotorigen Synchronisationsmerkmal ausgelegt, das die Gefahr von Waferkollisionen während des Schrittvorgangs verringert. Der Stepper bietet auch erweiterte Wafer-Hebefunktionen und steuert das Waferheben durch Positionen, die eine höchstmögliche Genauigkeit ermöglichen. Das Gerät bietet eine relative Schrittgenauigkeit von 0,75 Pixel pro Pixel und eine relative Genauigkeit von 0,5 Pixel pro Pixel. NIKON NSR 2205 I11 D ist mit einem fortschrittlichen Kommunikationssystem konzipiert und mit Online-Überwachungs- und Diagnosefähigkeit integriert. Dies ermöglicht es den Betreibern, schnell und zeitnah mit der Leistung der Einheit Schritt zu halten und potenzielle Probleme zu debuggen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Steuerungssoftware-Suite konzipiert, die eine flexible Anwendersteuerung sowie eine umfassende Werkzeugdatenanalyse und -berichterstattung bietet. NSR-2205 I11D ist ein fortschrittliches Auto-Stepping-Asset, das sehr genau ist und einen hohen Durchsatz für bestmögliche Bildgebungsergebnisse gewährleistet. Das Modell ist speziell für Halbleiterhersteller und Photolithographieverfahren konzipiert und gehört zu den beliebtesten Systemen der Branche für diese Anwendungen. Seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige, genaue und hocheffiziente automatische Stufenausrüstung suchen.
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