Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #293799138 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293799138
Stepper
Total focus deviation: 0.263 µm
Astigmatism: -0.21 µm
Reticle blind: 0.5 mm to 0.7 mm
Focus calibration repeatability: 36 nm
Exposure power: 776.520 mW/cm²
Integrated exposure control: ≤1.0%
Illumination uniformity: 1.177%
Reticle rotation: 10 nm
Orthogonality: 0.074 sec
Wafer flatness: 0.89 µm
Inclination:
UR-LL: 0.051 µm
UL-LR: 0.006 µm
Pre-alignment repeatability:
X: 5.027 µm
Y: 6.615 µm
Y-Theta: 14.906 µm
Lens distortion:
X: 0.032 to 0.033 µm
Y: 0.026 to 0.020 µm
FIA Overlay:
X: 32 nm
Y: 28 nm
LSA Overlay:
X: 57 nm
Y: 31 nm
Stepping accuracy:
X: 22 nm
Y: 25 nm.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Top-Wafer-Stepper, der eine optimale Leistung für die Halbleiterproduktion bietet. Das Gerät zeichnet sich durch sein hochkompaktes Design in Kombination mit hervorragender optischer Leistung aus. Es verfügt über eine präzise Glasoptik, einen kurzen Arbeitsabstand und eine geringe Verzerrung. Das fortschrittliche Design des Systems wurde für die Dimensionssteuerung auf Nanometerebene und eine extrem geringe Stellfläche optimiert. NIKON NSR-2205I11D Stepper verwendet zwei optische Achsen, die längere Fokusebenen, einen größeren Durchsatz und eine erhöhte Genauigkeit ermöglichen. Das Gerät bietet ein hervorragendes Sichtfeld (FOV) von bis zu 25,5 mm x 25,5 mm. Darüber hinaus bietet es eine optimierte Gesamtabbildungsfläche von 24mm x 24mm und unterstützt verschiedene Wafergrößen, darunter 1 Zoll bis 6 Zoll. Der große FOV- und Imaging-Bereich bietet eine überlegene Prozessintegrität, indem er Schrittfehler von Zentrum zu Kante deutlich reduziert. NSR 2205I11D ist mit einem fortschrittlichen, hochpräzisen Schrittobjektiv mit einem Objektiv mit niedriger Aberration ausgestattet und eignet sich somit ideal für Nanoregistrierungs- und Overlay-Messungen. Die Maschine bietet eine überlegene Overlay-Genauigkeit und ermöglicht eine hohe Durchsatzproduktion fortschrittlicher Submikron-Strukturen. Das Gerät bietet zudem hochpräzise Sensoren und einen hochgenauen Arbeitsbereich. NSR 2205 I 11 D bietet eine hervorragende Ausrichtungsleistung auf Board-Level und Wafer-Level und bietet eine optimierte Auflösung von bis zu 0,10 µm. Dies ermöglicht eine erhöhte Genauigkeit und Prozesssicherheit und ermöglicht einen hohen Durchsatz für die Halbleiterherstellung. Das Gerät verfügt auch über eine schnelle Reaktionszeit und kurze Belichtungszeiten, die die Produktionseffizienz unterstützen. NSR-2205 I11 D umfasst mehrere zugängliche Ports und eine flexible Schnittstelle, die eine einfache Integration in bestehende Produktionseinstellungen und fortschrittliche Automatisierung ermöglicht. Das Tool bietet eine Reihe benutzerfreundlicher Betriebsarten, die eine integrierte Überwachung und Verwaltung des gesamten Produktionsflusses ermöglichen. Insgesamt ist NIKON NSR 2205 I 11 D ein außergewöhnlicher Wafer-Stepper mit ausgezeichneter Leistung, Zuverlässigkeit und Genauigkeit. Dieses fortschrittliche Asset bietet einen überlegenen Durchsatz, der durch kürzere und kürzere Belichtungszeiten erreicht wird, was zu einem hocheffizienten Produktionsprozess für jede halbleiterbasierte Anwendung führt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor