Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9160391 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein Waferstepper, der für Mikrolithographieverfahren eingesetzt wird. Dieser Stepper hat eine Lichtquelle des Excimerlasers (248 nm Wellenlänge) für niedrige Reflexions- und Absorptionseigenschaften. Das Gerät verfügt auch über eine Reduktionsprojektionsoptik, die zwei Linsen verwendet, um das Retikelbild zu reduzieren und mit Techniken wie Dunkelfeld, Hellfeld, Fokusvariation sowie Hellfeld kompatibel ist. Der Laser ermöglicht hochleistungsfähige variable optische Impulslängen mit Pulsbreiten von bis zu 300 ns, was ideal für eine zuverlässige Strukturierung ist. Diese Maschine hat eine große Tischgröße von 53 x 63 cm und ist in der Lage, große Wafer bis 200 mm Durchmesser zu handhaben. Um eine genaue Ausrichtung zu gewährleisten, hat es eine Musterpositioniergenauigkeit von 0,5 μ m entlang der x- und y-Achse, eine Feldebenheit von 0,2 μ m und eine Stufenwiederholbarkeit von ≤ 0,5 μ m. Es ist in der Lage, Hochleistungs-Laserbelichtungsdosen von bis zu 900 mJ/cm2 zu handhaben. Zur weiteren Verbesserung der Produktivität und des Durchsatzes kann es bis zu 1000 Wafer/Stunde verarbeiten. NIKON NSR-2205I11D verfügt über ein benutzerfreundliches Bedienfeld mit einer intuitiven GUI für mehr Benutzerfreundlichkeit. Das System integriert sich auch in mehrere fortschrittliche Technologien wie Auto-Tune, eine Funktion, die die Parameter des Geräts automatisch anpasst, um die Genauigkeit zu verbessern und den Abfall zu reduzieren. Darüber hinaus ermöglicht der Einsatz der integrierten Auto-Rezept-Funktion eine schnellere Auftragsinitialisierung und eine verbesserte Maschinenpräzision. Dieser erweiterte Wafer-Stepper wird mit einer vorinstallierten Align-Checker-Engine geliefert, die Bohrungserkennungs- und zusätzliche Bildanalysefunktionen bietet. Es kommt auch mit einer Kantenerkennungsfunktion, die zur Erkennung von Verarbeitungsfehlern im Dünnschichtbereich ausgelegt ist. Eine weitere hilfreiche Funktion ist seine Seriennummernidentität, die Jobnummern und Tracking-Codes anpassen kann. NSR 2205I11D ist ein zuverlässiger und leistungsfähiger Wafer-Stepper, der sich ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet. Seine erweiterten Funktionen und automatisierten Funktionen verbessern die Produktivität und Präzision erheblich, während die intuitive Benutzeroberfläche es sehr einfach zu bedienen macht.