Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9160392 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein fortschrittliches Belichtungssystem für die Geräteherstellung in der Halbleiterindustrie. Entwickelt von NIKON Precision, ist es ein kompakter und hochgenauer Stepper, der für die hochauflösende Strukturierung und Belichtung von Photolackschichten auf vielen Arten von Wafern wie Silizium, Glas und Polymer verwendet wird. NIKON NSR-2205I11D basiert auf einer neu entwickelten i-line Beleuchtungsquelle bestehend aus einem UV-LED-Array und einer Hochleistungskondensatorlinse. Dieses System wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Intensität und Bandbreite des Lichts zur Verfügung zu stellen, die für hochpräzise Musterbelichtung von Photolackschichten gut geeignet ist. Es hat einen sehr geringen Geräuschpegel und eignet sich daher für extrem empfindliche Gerätebelichtungsprozesse. Das System ist hochgenau und bietet eine maximale Überlagerungsgenauigkeit von +/- 15 Nanometern für 4-quadratische Bilder und von +/- 25 Nanometern für 8-quadratische Bilder. Darüber hinaus ermöglichen die umfassenden Funktionen von NSR 2205I11D es, die Rauheit von Linienkanten (Line Edge Roughness, LER) zu reduzieren und niedrige Freiheitsgradwerte beizubehalten. Als solches ist es ideal für fortgeschrittene Geräteherstellungsprozesse, wie Kontaktlithographie und Deep-UV-Merkmalsmuster. Die starre Struktur des Schrittes und die überlegene Geradheit der Fahrachsen sorgen für einen stabilen Betrieb auch im Dauerbetrieb. Die Stromversorgung arbeitet mit einer niedrigen Spannung, die elektromagnetisches Rauschen stark reduziert. Darüber hinaus ermöglicht die ausgezeichnete Motorphasensteuerung eine hochgenaue Belichtung mit 1/1000 Grad Wiederholbarkeit und einer +/- 2 Nanometer Genauigkeit. NIKON NSR 2205I 11D ist mit einem großen Scheibenfutter und einer niedrigen Neigungsstufe ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Stepper in der Lage ist, die Wiederholbarkeit und den Durchsatz der anspruchsvollsten Geräteherstellungsprozesse zu bewältigen. Seine Positioniergenauigkeit auf Nanometerebene sorgt für überlegene Belichtungsgleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und hervorragende Bildqualität. Seine Konfiguration ermöglicht auch eine große Fokustiefe für eine geringe chipübergreifende Variation der Linsenleistung. NSR-2205 I11D bietet dank seiner präzisen, wiederholbaren und zuverlässigen Leistung eine hohe Produktivität. Dank seiner robusten Konstruktion eignet es sich für die großvolumige Waferbearbeitung und seine speziellen Eigenschaften ermöglichen es, die anspruchsvollsten Belichtungsanforderungen für die heutige Halbleiterherstellung zu erfüllen.