Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9236907 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein Spitzen-Wafer Stepper, entworfen, um hochpräzise und zuverlässige Leistung in der Halbleiterbauelementherstellung zu bieten. Das System ist in der Lage, Vision-geführte fortschrittliche Ausrichtungstechnologie mit Sub-50nm-Registrierungsgenauigkeit und < 3 μ m Overlay-Genauigkeit zu verwenden. Es ist auch mit NIKON fortschrittlicher Beleuchtungskorrekturtechnologie ausgestattet, die eine verbesserte Produktivität durch automatische Erkennung der lokalen Beleuchtung und Aufrechterhaltung der Gleichmäßigkeit ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der integrierte Intrafeld-Scanner und das Enhanced Defocus Transfer Protocol oder EDTP sehr schnelle Belichtungszeiten von weniger als 5 Sekunden. NIKON NSR-2205I11D kann alle Arten von Halbleiterprozessen unterstützen, einschließlich tiefer ultravioletter Lithographie, Interferenzlithographie, Implantatlithographie und direkter Schreiblithographie. Das System ist auch in der Lage, durch seine überlegene Optik und Mikroschrittgenauigkeit eine hohe Leistung im Schnellgeräteherstellungsprozess zu erzielen. NSR- 2205I11D können auch in der Trocken- und Tauchlithographie eingesetzt werden, mit einer breiten Palette von verfügbaren Schlitztypen, die eine große Flexibilität für den Endanwender ermöglichen. Darüber hinaus bietet NSR 2205 I 11 D auch mehrere operative Innovationen, wie seinen Echtzeit-Fokus-Monitor, der eine Fokussiergenauigkeit bis auf ± 1nm ermöglicht, und Trendmustererkennung, die eine frühzeitige Erkennung von Belichtungsfehlern ermöglicht. Das System ist auch mit NIKON Graphic Language oder NGL für automatisierte Waferprozesse und Programmierung sowie DAS oder Delta Auto Search zur absoluten Ausrichtung ausgestattet. Darüber hinaus verfügt der Wafer-Stepper über eine einzigartige Helical Micro-Step-Technologie von NIKON, die belichtungsinduzierte Verzerrungen reduziert und die Produktivität erhöht. In puncto Performance bietet NSR 2205 I11 D eine Reihe hervorragender Ergebnisse. Der Rayleigh Interval Optimizer bietet im Vergleich zu herkömmlichen Beleuchtungslösungen einen 1.5X zu 2X Durchsatzsteigerung. Der Wafer Stepper hat auch eine maximale Feldgröße von 105,9 mm bei 0.6X Vergrößerung und eine minimale Feldgröße von 41,1 mm bei 4X Vergrößerung. Sein Schritt- und Wiederholungsauflösungsbereich ist bis zu 0,112 μ m erreichbar, was eine unglaublich gute Auflösung ermöglicht. Alles in allem bietet NIKON NSR-2205 I11D hervorragende Leistung in der Geräteherstellung sowie eine Reihe von Funktionen und Leistungssteigerungen, die wir in diesem Bereich sehr begehrt haben. Ob für die Großserienfertigung oder für das kleine Prototyping und die Entwicklung, NIKON NSR-2205 I11 D-Faktor in den neuen Funktionen und Technologien zur Verfügung, bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit für Endanwender.