Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9236908 zu verkaufen
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ID: 9236908
Wafergröße: 6"
Stepper, 6"
Reticle, 6"
(2) Carriers
Illumination: SHRINC3
Lamp illumination:
Average power: 949.289 mW / cm²
Uniformity: 1.752%
Lens distortion: ±0.050 µm
Maximum:
X: 0.059
Y: 0.042
Minimum:
X: -0.031
Y: -0.056
Field inclination:
Within: 0.35 µm
UL-LR, UR-LL: 0.2 µm
AST: 0.25 µm
Maximum: 0.276 µm
Curvature: -0.016 µm
UL-LR: -0.052
UR-LL: -0.032 µm.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein führender Wafer-Stepper, der die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung erfüllt. Es ist mit ultrapräziser SR-Optik und einer hochwertigen Ausrichtungsausrüstung ausgestattet, um bei jedem Auftrag präzise und effiziente Ergebnisse zu gewährleisten. NIKON NSR-2205I11D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper mit 5 Achsen Auflösung und einem Hochgeschwindigkeits-Antriebssystem. Es hat eine kleine Stellfläche, die Installation und Bedienung einfach macht, während seine außergewöhnliche optische Einheit eine ausgezeichnete Bildqualität bietet. NSR- 2205I11D ist in der Lage, Substrate von 3 „bis 12“ zu handhaben und kann auch Schritt- und Wiederholungsausrichtungsaufträge mit einer 0,5-Mikron-Registrierungsgenauigkeit aufnehmen. Um Leistung zu gewährleisten, ist NIKON NSR 2205I11D mit mehreren Funktionen ausgestattet. Seine i-linien- und DUV-Beleuchtungssysteme ermöglichen eine enge druckbare Bildgröße und seine Präzisionsbewegungssteuerungsmaschine bietet ultraschnelle schrittweise und wiederholte Ausrichtungsgenauigkeit. NSR-2205 I 11 D umfasst auch eine automatisierte Waferausrichtung mit einem LED-Helligkeitsdetektor und eine automatische Referenzierung zur verbesserten Gerätesteuerung. Um einen maximalen Durchsatz zu gewährleisten, setzt NSR 2205 I11 D eine Reihe innovativer Technologien ein. Die Hochgeschwindigkeits-Wafer-Handhabung wird durch eine Kombination von Optionen wie Load-Lock-Designs, Bordwerkzeugen und einem parallelen Auswurfmechanismus unterstützt. Dadurch ist es möglich, den maximalen Durchsatz bei nahezu Null Abfall zu treiben. NIKON NSR 2205I 11D ist auch mit zwei elektronischen Waagen ausgestattet. Diese ermöglichen eine schnellere Datenerfassung und -steuerung, während ein integriertes Steuerungstool eine wiederholbare Echtzeit-Datenanalyse bietet. Darüber hinaus werden seine erweiterten Datenverarbeitungsfunktionen durch leistungsstarke und anpassbare Software ermöglicht, die eine granulare Steuerung von Funktionen, Waferorientierung, Verarbeitungsgeschwindigkeit und Genauigkeit ermöglicht. Um eine gleichbleibende Leistung zu gewährleisten, bietet NIKON NSR-2205 I 11 D zusätzlich eine Reihe von Betriebsmerkmalen. Seine Temperaturkontrolle hilft, eine stabile Umgebung für längere Betriebszeiten zu gewährleisten, während eine Kombination aus benutzerdefiniertem Kriechmonitor und iMode-Betriebsmonitor eine erhöhte Leistung ermöglicht. Der integrierte Autofokus maximiert die Effizienz, während die Speicherverwaltungsfunktionen der Maschine Datenverluste verhindern. NIKON NSR 2205 I 11 D ist ein beeindruckender Wafer-Stepper mit überlegener Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Durchsatz. Seine Eigenschaften bieten ausgezeichnete Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen, so dass es die perfekte Wahl für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsanforderungen ist.
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