Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9237613 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 9237613
Stepper Resolution: 350nm.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist eine anspruchsvolle, hochleistungsfähige bildgebende Ausrüstung, die den Anforderungen fortschrittlicher Halbleiterbauelementherstellungsprozesse gerecht wird. Dieses System ist eine zuverlässige, kostengünstige Bildgebungslösung, die einen verbesserten Durchsatz und eine hervorragende Auflösung bietet. NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper verfügt über eine hochmoderne KrF Excimer Laserbelichtungseinheit, die für hochpräzise Bildgebung mit großen Belichtungsfeldern ausgelegt ist. Die Belichtungsquelle besteht aus einem Quarz-Unterrahmen mit 150 mm Durchmesser, der einen KrF-Excimerlaser mit einer Ausgangsleistung von bis zu 250 mW enthält. Die Laserbelichtungszeit kann in einem Bereich von 25 -6000 ms exakt gesteuert werden NSR 2205I11D Wafer Stepper hat eine ausgezeichnete Ausrichtungsgenauigkeit, mit Submikron XY-Auflösung und einer Wiederholbarkeit von +/- 0,5um. Seine Positioniermaschine ist ein Produkt von NIKON patentierten High-Axes DDM (Dual DualMotor) Design, sowie Linearmotoren, die sowohl die Genauigkeit und die maximale Beschleunigung verlängern. Ein verstellbarer Fokussiermechanismus gewährleistet neben einer präzisen Ausrichtung auch eine optimale Fokussierung unabhängig von der Wafertopographie. NIKON NSR 2205I 11D Wafer Stepper ist ein extrem präzises Bildgebungswerkzeug. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 "handhaben und die Waferbibliothek befindet sich außerhalb des Reinraumes. Automatisierte Prozesse sind durch die beiliegende Software und automatisierte Ausrichtungs- und Fokusfunktionen möglich. Für erweiterte Anwendungen zur Geräteherstellung bietet NSR-2205 I11 D Wafer Stepper integrierte OPC-Funktionen sowie Design-Rule-Check-Funktionen. Kommentare und Messungen sind mit NIKON NSR 2205 I 11 D Wafer Stepper möglich. Die Anlage ist mit einer PC-Schnittstelle zur Fernbedienung und Bedienung ausgestattet. Darüber hinaus bietet NIKON automatisierte Fehlerinspektionsmöglichkeiten und Wafermustermessungen, die für fortgeschrittene Geräteherstellungsprozesse unerlässlich sind. NIKON NSR-2205 I11 D Wafer Stepper ist ein wesentliches Werkzeug für jeden fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellungsprozess. Sein hochmodernes Abbildungsmodell und seine ausgezeichnete Präzision bieten hochgenaue Abbildungen und die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.
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