Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9237615 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein Waferstepper für die Halbleiterherstellung. Es ist eine 6-Achsen-Ausrüstung, die lithographische Prozesse durchführt. Die Kamera hat eine Auflösung von bis zu 0,248 nm und ermöglicht eine hochpräzise Bildgebung und Ausrichtung. NIKON NSR 2205 ist in der Lage, eine breite Palette von bildgebenden Aufgaben, einschließlich Vollfeldbelichtung, Spot-Exposition und Schritt-und-Wiederholung-Belichtung. NIKON NSR 2205 hat eine Feldgröße von 645 mm x 540 mm und einen vollen Felddurchsatz von bis zu 75 Wafern/Stunde. Es ist mit einem reflektorlosen Stepper, einem telezentrischen Optikausrichtsystem, einer neuartigen auslenkbaren Optikhalterung und einer Werkstückladeeinheit ausgestattet. Der Stepper ist in der Lage, extrem genaue Belichtungen, mit Steigung, Verschiebung und Ausrichtung Genauigkeiten innerhalb von 0,01 mm, 0,01 mm und 0.1mRad. Diese Funktionen stellen sicher, dass NIKON NSR 2205 zuverlässige Bildgebung mit hohem Durchsatz für anspruchsvolle Aufträge durchführen kann. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR 2205 über eine hochmoderne Bilddatensammlungsmaschine. Dieses Tool liefert umfassende Messungen der gedruckten Musterdaten und der Muster auf dem Substrat. Durch die Auswertung dieser Daten können Linienbreiten und kritische Abmessungen der Druckmuster mit einer Genauigkeit von 0,05 μ m ermittelt werden. NIKON NSR 2205 ist auch in der Lage, qualitativ hochwertige SEM-Bilder zu erfassen. Es ist mit einer integrierten optomechanischen Beleuchtung ausgestattet, die kontrastarme Merkmale mit einer Kontrastauflösung von 3% erkennen kann. NIKON NSR 2205 kommt auch mit einem integrierten Bildverbesserungsmodell, das in der Lage ist, Bilder zu schärfen und gleichzeitig optisches Rauschen und Verzerrungen zu beseitigen. Neben den genannten Funktionen ist NIKON NSR 2205 auch mit erweiterten Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen ausgestattet. Ein Host-PC kommuniziert mit dem Wafer-Stepper über einen NC-Treiber (Numerical Control), der eine hohe Benutzersteuerung ermöglicht. Darüber hinaus ist NIKON NSR 2205 in der Lage, seine Optik automatisch zu kalibrieren, was für ein verbessertes Bildgebungserlebnis sorgt. NIKON NSR 2205 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der in der Lage ist, bildgebende Aufgaben mit hohem Durchsatz zuverlässig und präzise durchzuführen. Die integrierte optomechanische Beleuchtungsausrüstung und Bildverbesserungsalgorithmen ermöglichen eine kontrastreiche Bildgebung. NIKON NSR 2205 ist eine ideale Wahl für alle lithographischen Halbleiterprozesse.