Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9237618 zu verkaufen
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ID: 9237618
Stepper, 4"
Chamber model: N2A
Panel: MPXIII
Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B
LSA Laser: 14.3 mw
ITV Camera: NIKON Original
OF Detection type: OMRON
No in-line
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type 2
Wafer condition: SAPPHIRE
Wafer carrier table: Right
FIA
Reticle size, 6"
Reticle library slot: 13 Slots
No barcode & PPD
Computer type: VAX 4000 90A
CDA / Vacuum pipe
WL/RL Belt
Fiducial mark
Control rack PCB
STG Guide
No SHRINC lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist eine hochentwickelte Lithographie-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieser Stepper verwendet ein leistungsstarkes optisches System, eine hochpräzise Abtaststufe und eine leistungsstarke Motorantriebseinheit, um eine hervorragende Geräteleistung zu liefern. Der Stepper verwendet ein Vollfeldbild, das auf der Methode steps-and-repeats basiert, um Bildgleichförmigkeit über das gesamte Substrat zu liefern. Der modulare Aufbau der Maschine ermöglicht zusätzliche Flexibilität und Skalierbarkeit, so dass Betrieb und Wartung mit minimalen Ausfallzeiten. Der Stepper verwendet eine erweiterte Optik, um die Gleichmäßigkeit und Auflösung der erzeugten Bilder zu erhöhen. Das Tool verwendet ein 11-Objektiv und ein 8-Linsen-Asset, das eine gleichmäßige Bildgebungsleistung über den gesamten Substratbereich bei Auflösungen bietet, die mit den besten verfügbaren Schritttechnologien erreichbar sind. Mit einer Wafer-Bühnengröße von bis zu 25 Zoll kann das Modell Wafer mit einem Durchmesser von 200mm und 300mm mit hohem Durchsatz aufnehmen. Die hochgenaue Scanstufe kann Wiederholbarkeitstests durchführen und Rückmeldungen in Sekundenbruchteilen liefern, während Autofokus, Bildkontext, Bildanalyse und Bildüberprüfungsfunktionen während des Scanvorgangs verwendet werden, um eine genaue Bildgebung sicherzustellen. NIKON NSR-2205I11D wafer stepper verfügt zudem über eine leistungsstarke Motorantriebsausrüstung in Kombination mit neuesten Robotersteuerungen, die sowohl eine hocheffiziente Waferübertragung als auch eine hochpräzise Steuerung zur dynamischen Steuerung der Bühne ermöglichen. Die Motorsteuerung ist auch in der Lage, Beschleunigung, Geschwindigkeit und Position mit höherer Präzision als herkömmliche Systeme zu steuern. Dieses Kontrollniveau ermöglicht eine höhere Produktivität bei genauerer Bildgebung und weniger Fehlausrichtungsfehlern. NSR 2205I11D Wafer Stepper verfügt auch über die neuesten bildgebenden Algorithmen, die eine schnelle und genaue Bildanalyse und Feedback ermöglichen. Mit dieser Rückmeldung kann das Gerät Anpassungen der Abbildungsparameter vornehmen, um optimale Abbildungsergebnisse zu gewährleisten. Erweiterte Optik, Bewegungssteuerung und bildgebende Algorithmen ermöglichen es der Maschine, hohe Durchsatzraten zu liefern und gleichzeitig extrem niedrige Bildfehler zu erhalten. NSR 2205I 11D Wafer Stepper ist in der Lage, extrem hochwertige Bilder mit minimalen Ausfallzeiten zu liefern. Das Werkzeug ist äußerst zuverlässig und vielseitig einsetzbar und ermöglicht eine Vielzahl von Herstellungsvorgängen für Halbleiterbauelemente. Das Asset ist eine ideale Wahl für Organisationen oder Einzelpersonen, die einen zuverlässigen, hochpräzisen Wafer-Stepper suchen, um ihre Produktionskapazität und Effizienz zu erhöhen.
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