Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9244218 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9244218
Wafergröße: 8"
Stepper, 8"
Basic version: MCSV
Option version: OCSV
Lamp power
Uniformity
Stepping
Overlay(LSA): lXl+3σ
Overlay(FIA): lXl+3σ
Reticle rotation: Repeatability
Lens distortion: Min~Max
Reticle blind
Main computer:
Computer system
Hard Disk Drive (HDD): DKA200,300
Disk drive: Tape (DAT)
Illumination type: 1.75 kW Lamp
Wafer stage:
Ball screw
Ring type chuck
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: FIX
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi point
Wafer loader:
Type 2
Flat type
Inline (Left)
Cassette (Left)
Control rack position: Right
Reticle loader, 6"+ extra
PPD2
Chamber type: S07
Temperature: 23°C
No bar code.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der sowohl für die Bearbeitung von Einzelwafern als auch von Cluster-Wafern entwickelt wurde. Diese Maschine ist mit einer leistungsstarken DUV-Optik ausgelegt, die eine hochpräzise Verarbeitung selbst anspruchsvollster Substrate ermöglicht. NIKON NSR-2205I11D verfügt über ein Stufen- und Wiederholungssystem der neuen Generation, das außergewöhnlich hohe Auflösungen erreichen kann. NSR 2205I11D verfügt über einen 11-Megapixel-Sensor, der 0,28 µm Ausrichtung ermöglicht, mit einer großen Spannplatte, die hervorragende Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Dieser Stepper verfügt auch über eine neu entwickelte Wafer-Ausrichteinheit, die automatisch die Orientierung eines Wafers erfassen kann, wodurch eine wiederholt präzise Ausrichtung und Platzierung der Photomaske möglich ist. Es umfasst auch eine Hochgeschwindigkeits-Scanmaschine, die einen hohen Durchsatz und eine akribische Substratinspektion ermöglicht. NSR 2205 I11 D wird von einem 50MHz NIS-Controller und einem Scannermotor angetrieben, was ihm eine zuverlässige und effektive Bewegungssteuerung ermöglicht. Es verfügt auch über Autofokussierung und Nähfunktionen für höchste Genauigkeit. Mit NIKON NSR-2205 I 11 D werden sowohl Wafer-Bühnen- als auch Maskentischpositionen überwacht und auf Null-Positionsdrift korrigiert. NIKON NSR 2205I11D ist ein ausgezeichnetes Werkzeug für die Chipproduktion, mit dem Anwender eine hochgenaue und wiederholbare Ausrichtgenauigkeit erzielen können. Es verfügt über viele nützliche Funktionen wie erweiterte automatische Ausrichtung, Scannen, Nähen und automatische Fokussierung sowie I/O-Interlocks, um Schäden an der Optik und der Substratoberfläche zu vermeiden. NIKON NSR-2205 I11D bietet eine hervorragende Kombination aus hohem Durchsatz, hoher Präzision und zuverlässiger Leistung und ist damit eine ideale Wahl für anspruchsvollste Chip- und Halbleiteranwendungen.
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