Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9245445 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9245445
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Stepper, 8"
Basic version:
MCSV Basic: 2.10A
Option version: OCS
Main system: 2020A
Main computer: Vax 4000 96
Hard Disk Drive & storage drive included
Illumination type: No shrinc
Wafer stage:
Chuck type: 4" (PSS)
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA & ISS
Reticle microscope: Fix
Auto focus: Multipoint
Wafer loader:
Wafer size: 4"
Loader type: Single
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Left
Cassette: Center & right
Control rack position: Right
(6) Reticle loaders
No extend library
13 Slot
No PPD
No barcode system
Chamber type: ASAHI
Lens data:
Long term focus stability: Within 0.25 um
Magnification control vs. & lens heat focus Div.:
Mag: ≤ 0.02 um
Focus: ≤ 0.2 um
Auto focus repeatability: ± 0.1 um
Focus calibration 2 repeatability: 3δ ≤0.10 um
Lens distortion (Including magnification): Within ± 0.055 um
Lens stability: Within ± 0.050 um
Reticle blind setting accuracy: + 0.4 to + 0.8 mm (On reticle)
Exposure power: 650 mW/cm²
Intergrated exposure control: Within ± 1.0%
Illumination uniformity: Within 2.5%
Reticle rotation: Abs & Rep within 20 nm
Array orthogonality: Within ± 0.1 sec
Stepping precision: Within 0.05 um (3δ)
Alignment accuracy:
LSA: |X| + 3δ < 0.075 um (Center position)
FIA: |X| + 3δ < 0.075 um (Center position)
Stepping rate: < 20 Sec (4" Base)
Wafer Pre-alignment 2 repeatability: 3δ < 25 um
Throughput with Pre-alignment 2:
LSA: EGA ≥ 50 Wafer / hr
FIA: EGA ≥ 50 Wafer / hr
System throughput: Within 83.7 sec / Wafer (4" Base)
Chip leveling accuracy: Within ± 1.5 sec
Chip leveling control time:
Angle at 10 sec within 280 msec
Angle at 30 sec within 610 msec
Angle at 50 sec within 940 msec
Operation test:
Wafer system: > 99%
Reticle: > 100%
1994 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der Automatisierungsprozesse für Wafer-Belichtungsprozesse ermöglicht. Diese Maschine verwendet NIKON patentierten ASM (Auto-Smoothing Motor), um überlegene Bildqualität und hohen Durchsatz zu gewährleisten. Der mitgelieferte i-Line Lithographie-Mustergenerator hat eine Auflösung von 0,8 μ m, wodurch Resistmuster mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit belichtet werden können. NIKON NSR-2205I11D verwendet einen Spiegel, um die Abbildungsstrahl-Fokusposition dynamisch einzustellen und so qualitativ hochwertige Bilder konsistent bereitzustellen. Dieses Gerät verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeitsdosierung mit einem Rückkopplungssteuerungssystem, das Referenzwafer verwendet. Der mitgelieferte Hochdurchsatz-Belichtungsmodus reduziert bildgebende Belichtungszeiten bis zu 10% gegenüber dem herkömmlichen Modus für erhöhte Abbildungszyklen und Produktivität. Diese Maschine verfügt über eine hochstabile Rahmenkonstruktion, die einen wartungsfreien Betrieb in einer Hochtemperatur- und Vibrationsumgebung ermöglicht. NSR 2205I11D hat zudem einen geringen Stromverbrauch, was eine deutliche Senkung der Energiekosten ermöglicht. Die mitgelieferte Digital Image Measurement Unit (DIMS) sorgt für die Überwachung und Anpassung von Resist-Belichtungswerten von Wafer zu Wafer, um hochwertige Bilder zu erhalten. Dieser Wafer-Stepper umfasst eine automatische Belichtungsmaschine, die die Belichtung kleiner Flächenmuster vereinfacht. Es gibt auch ein Tool zur Überwachung der Belichtungshistorie, mit dem der Benutzer die Ergebnisse früherer Belichtungen überprüfen kann. Der mitgelieferte Vibrations- und Partikelzähler verbessert die Detektionsgenauigkeit von Partikeln und reduziert so den Wartungsaufwand. Das i11D ist außerdem mit einer Betriebsüberwachung ausgestattet, um Unregelmäßigkeiten und Modellprobleme automatisch zu erkennen und zu melden. Insgesamt ist NIKON NSR 2205 I 11 D ein hochpräziser Wafer-Stepper mit fortschrittlichen Funktionen, die Wafer-Belichtungsautomatisierung und hohe Genauigkeit sowie zuverlässige Leistung in Hochtemperatur- und Vibrationsumgebungen bieten. Mit seinem geringen Stromverbrauch und automatisierten Belichtungsgeräten ist es ein hervorragendes Werkzeug für die Produktion hochwertiger Bilder mit konsistenten, wiederholbaren Ergebnissen.
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