Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9247255 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 9247255
Wafergröße: 6"
Stepper, 6" Illumination: SHRINC3.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist ein fortschrittliches bildgebendes Gerät für Halbleiter-Lithographie-Prozesse. Es ist für Waferausrichtung und Präzisionsbelichtung ausgelegt, die bei der Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen verwendet wird. Als Flaggschiff-Produkt von NIKON bietet der Stepper überlegene Leistung und ein umfassendes Portfolio an erweiterten Funktionen. Es ist in der Lage, bis zu 5 Generationen von Gerätegeometrien im Bereich von 0,14 μ m, bietet überlegene Auflösung und Genauigkeit in allen Lithographie-Operationen. Das Gerät verfügt über eine neu entworfene optische Bühne mit hoher Geschwindigkeit und reibungslosem Betrieb. Es ist mit einer „Line Scan Aperture“ ausgestattet, einem einzigartigen Gerät, das eine genaue Ausrichtung von Wafern mit einem Hochgeschwindigkeits-Scanmodus von bis zu 30kHz ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen proprietären „Hochauflösenden Fokus-Bildmonitor“, mit dem Benutzer Prozessbedingungen erkennen können, was eine höhere Prozessgenauigkeit ermöglicht. Darüber hinaus verwendet NIKON NSR-2205I11D stepper ausgeklügelte Muster-Matching-Algorithmen, die eine perfekte Registrierung auf Geräteebene ermöglichen. Dies ermöglicht eine verbesserte Genauigkeit bei Auflösungen bis 1,4 nm. Darüber hinaus ist das System für den Einsatz mit einer Vielzahl unterschiedlicher Expositionen konzipiert, einschließlich vertikaler und lateraler Ausrichtungen, doppelter Strukturierung und doppelter Belichtung. Weitere außergewöhnliche Merkmale von NSR- 2205I11D sind ein erweiterter Scan-/Lasermodus, ein Beugungsfehler-Kalibriermodus, ein Rauschunterdrückungsmodus und eine Anti-Vibration Sub-Zero-Funktion. Der Scan-/Lasermodus ermöglicht die präzise Ausrichtung überlappender Muster mit einem Hochgeschwindigkeitslaser, während der Beugungsfehlerkalibriermodus beugungsbezogene Muster reduziert. Schließlich sind sowohl der Noise Reduction Mode als auch die Anti-Vibration Sub-Zero-Funktion nützlich, um Verzerrungen zu verhindern und Wafer zu stabilisieren. Insgesamt ist NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepper eine innovative, hochmoderne bildgebende Ausrüstung für fortschrittliche Lithographieverfahren. Seine beispiellose Feature-Set bietet außergewöhnliche Messungen und Prozesskontrolle, mit hoher Auflösung, Genauigkeit und Präzision. Es ist für die High-End-Halbleitergerätproduktion ideal bearbeitet und liefert eindrucksvollen Ergebnissen jedes Mal.
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