Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9251004 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9251004
Weinlese: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für fortschrittliche Lithographie-Lithographie und Inspektionsanwendungen. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten, einer hochentwickelten Beleuchtungsausrüstung und einer fortgeschrittenen beweglichen Bühne. Das Beleuchtungssystem bildet eine optimierte Projektionslinse, die ein hochauflösendes Muster auf einen Halbleiterwafer projiziert, was präzise geformte Merkmale und eine höhere Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die Linse wird von einer Quecksilberbogenlampe getragen, die großflächig für einen hohen Beleuchtungsgrad sorgt. Die optischen Komponenten umfassen eine Laserdiode und eine Reihe von Linsen, die eine gleichmäßige Beleuchtung ermöglichen. Die Beleuchtungseinheit verfügt außerdem über ein Projektionslinsenkreuz für erhöhte Genauigkeit. Das fortschrittliche Bewegungsstadium ist so konzipiert, dass der Wafer reibungslos über die Oberfläche der Linse bewegt wird, was eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Die Bühne kann mit einer Reihe von Parametern programmiert werden, so dass sie präzise Bewegungen und gewünschte Arbeitsabstände bei gleichzeitiger Bereitstellung der erforderlichen Belichtungszeit zu erreichen. Fortschrittliche Steuerungssysteme sorgen dafür, dass der Wafer exakt positioniert ist. NIKON NSR-2205I11D ist mit mehreren Sicherheits- und Wartungsmerkmalen ausgestattet, die seine Zuverlässigkeit und Langlebigkeit gewährleisten. Sein ergonomisches Design reduziert die Ermüdung des Bedieners und seine eingebaute Wartungs-Erinnerungsmaschine hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren. Der Wafer-Stepper verfügt außerdem über ein Umweltmanagementwerkzeug, das Temperatur- und Feuchtigkeitswerte überwacht und erfasst, um Bauteile vor Beschädigungen zu schützen. NIKON hat NSR- 2205I11D entwickelt, um hochwertige, hochauflösende Bilder bereitzustellen. Seine fortschrittliche Beleuchtung und bewegliche Bühne gewährleisten genaue und einheitliche Bilder, während seine Sicherheits- und Wartungsfunktionen zuverlässige und dauerhafte Leistung gewährleisten. NSR 2205 I 11 D eignet sich für Wafer-Lithographie-, Inspektions- und Messtechnik-Anwendungen in Halbleiterfertigungsanlagen.
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