Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9251004 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 9251004
Weinlese: 1996
Stepper MCSV Basic version: 2.31D OCS Option: 2.18A Main system: 2.42A Reticle loader Stage Operation panel Wafer loader Lens controller Alignment Main computer: System: VAX4000.90A Hard disk: DKA200, DKA300 Illumination type: SHRINC3 Revolver type: Conv, ann, small Wafer stage: Chuck type, 8" Screw type: Ball Reticle alignment: VRA, ISS Reticle microscope Wafer alignment: LSA, FIA Multiple auto focus Wafer loader, 8" Loader type: Type2 (A3) OF Type: Notch Flatzone: 6 O'Clock Cassette: Left and right Control rack position: Right side Reticle loader, 6" (13) Slots Wafer flatness: 1.510 um Wafer leveling: X: -0.248 sec Y: 0.049 sec Reticle blind setting accuracy: XP: 0.5 mm Xm: 0.6 mm Yp: 0.7 mm Ym: 0.5 mm Stepping: 3σ-X: 0.025 um 3σ-Y: 0.023 um INC Adjustment: Maximum-minimum: 0.311 um Curvature: 0.010 um UR-LL: -0.056 um UL-LR: 0.081 um DIS Adjustment: Maximum-X: 0.037 um Maximum-Y: 0.047 um Minimum-X: -0.051 um Minimum-Y: -0.044 um Exposure power: 565 mw/cm² Power uniformity: 0.934% 1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für fortschrittliche Lithographie-Lithographie und Inspektionsanwendungen. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten, einer hochentwickelten Beleuchtungsausrüstung und einer fortgeschrittenen beweglichen Bühne. Das Beleuchtungssystem bildet eine optimierte Projektionslinse, die ein hochauflösendes Muster auf einen Halbleiterwafer projiziert, was präzise geformte Merkmale und eine höhere Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die Linse wird von einer Quecksilberbogenlampe getragen, die großflächig für einen hohen Beleuchtungsgrad sorgt. Die optischen Komponenten umfassen eine Laserdiode und eine Reihe von Linsen, die eine gleichmäßige Beleuchtung ermöglichen. Die Beleuchtungseinheit verfügt außerdem über ein Projektionslinsenkreuz für erhöhte Genauigkeit. Das fortschrittliche Bewegungsstadium ist so konzipiert, dass der Wafer reibungslos über die Oberfläche der Linse bewegt wird, was eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Die Bühne kann mit einer Reihe von Parametern programmiert werden, so dass sie präzise Bewegungen und gewünschte Arbeitsabstände bei gleichzeitiger Bereitstellung der erforderlichen Belichtungszeit zu erreichen. Fortschrittliche Steuerungssysteme sorgen dafür, dass der Wafer exakt positioniert ist. NIKON NSR-2205I11D ist mit mehreren Sicherheits- und Wartungsmerkmalen ausgestattet, die seine Zuverlässigkeit und Langlebigkeit gewährleisten. Sein ergonomisches Design reduziert die Ermüdung des Bedieners und seine eingebaute Wartungs-Erinnerungsmaschine hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren. Der Wafer-Stepper verfügt außerdem über ein Umweltmanagementwerkzeug, das Temperatur- und Feuchtigkeitswerte überwacht und erfasst, um Bauteile vor Beschädigungen zu schützen. NIKON hat NSR- 2205I11D entwickelt, um hochwertige, hochauflösende Bilder bereitzustellen. Seine fortschrittliche Beleuchtung und bewegliche Bühne gewährleisten genaue und einheitliche Bilder, während seine Sicherheits- und Wartungsfunktionen zuverlässige und dauerhafte Leistung gewährleisten. NSR 2205 I 11 D eignet sich für Wafer-Lithographie-, Inspektions- und Messtechnik-Anwendungen in Halbleiterfertigungsanlagen.
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